一种中小口径非球面元件数控抛光技术

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1、第!"卷!第#期!光学精密工程6378!"!938#!!!!!!!!!!!!!!!!#$$%年&月!!!’()*+,-./012+*,*3.4.5*.221*.5!!:(18#$$%文章编号!!$$&;<#&=!#$$%"$#;$!

2、率半1!$UJJ径CX"!UJJ#OXW""#研究了非球面粗抛光工艺$精抛光工艺$抛光设备$磨料以及相关工艺参数#提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术#实现了中小口径非球面元件的数控快速精密铣磨成型#且保证了光学零件具有较高的面形精度%抛光后元件面形精度达到$8"$>/!06"$$8$#U/!^QS"!/X$8>"#U,J"%满足了在光学系统中使用非球面零件#明显改善像质#提高光学特性#减少光学零件数目#从而简化系统结构#减小系统体积#减轻系统质量的目的%关!键!词!非球面透镜!轮式抛光技

3、术!面形精度中图分类号![a!T!8>U!!文献标识码!:O(4.5&$"0(%&"())$3.()#+J#%2&$0J%()(2*,("4#33)$("+4’))’+.J$"#0)$%+!###Zb:9@ZG3.5;MD!#Zb:9@=D2;OD.!=c43.5;7*.!!@/>C!-.!"#$%&"’$($)*+*’*,-./0*+&)#1+$,2,&"#$+&)#$34"5)+&)#!"+$,),6,75-.8&+,$&,)#!"#$%&"’$!"$$""#!"+$#&#@9G#3’#*,8&"-

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7、面元件数控抛光技术!<<铣磨设备和自主开发研制的新型非球面抛光机!探讨如何对精密铣磨成型后的中小:!引!言口径非球面元件进行快速确定性抛光!使其满足设计要求$!!在光学系统中使用非球面零件!可以明显改善像质!提高光学特性!减少光学零;!非球面数控抛光技术的理论件数目!从而简化系统结构!减小系统体基础!!$""!;##积!减轻系统的质量$近年来!中小口径非球面光学零件在!!使用散粒磨料对光学材料进行研磨%军用和民用产品上的应用也越来越普及$抛光的物理过程比较复杂!很难找到和表如红外广角地平仪中的锗透镜%变焦照相面

8、去除量有关参数之间的确定性数学关机镜头%显示投影系统中的镜头%刻录机光系!到目前为止对这个过程描述比较成功头等$中小型非球面光学元件的加工技术的数学模型还是012,)3.假设&近几年来有了一定的发展!如中小型非球![’A!5(XO4’A!5(<’A!5(!’!(面的数控研磨成型%离子束抛光法%模压成![’A!5(为磨头与工件接触区域中某"";&#型法%真空镀膜法等$中小口径的非球点’A