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1、书名：微电子专业英语ISBN：978-7-111-31130-0作者：张红出版社：机械工业出版社本书配有电子课件www.themegallery.comZhangHong ChangzhouCollegeofInformationTechnologyMicro-electronicProfessionalEnglishChapterIHistoryUnit1ThefirstsevenbenchdiffusionfurnacesusedinthecornerofFairchild’sPaloAlt
2、ofacilitywereverysimilartofurnacesusedbyShockleySemiconductor.TheFirstTransistorinFairchilddiffusionn.扩散，传播diffusionfurnaces扩散炉facilityn.设施,容易,熟练,设备SupplementaryWords：diffusioncapacitance扩散电容译文：处于困境中的仙童PaloAlto工厂使用的的第一批七台扩散炉和肖克莱半导体公司使用的扩散炉非常相似。CecilA
3、.Lasch,Jr.,atechnicianwhoworkedatFairchild,didmostoftheworkonthediffusionfurnacehardware.译文：CecilA.Lasch,Jr，仙童公司的技术员，在扩散炉硬件上作出了大量工作。ThequartztubeofFairchild’sdiffusionfurnacehadaninnerdiameterof2"andaquartzlinerbetweentheprocessingtubeandheatingeleme
4、nt.Averysimple“variac”adjustablevariabletransformerwasusedtocontrolthetemperatureofthesinglezone.quartzn.石英tuben.管子,管,真空管diametern.直径transformern.变压器SupplementaryWords：quartzcrystal石英晶体tubediode真空二极管译文：仙童扩散炉的石英管内径，加工管和加热元件中间有一个石英衬垫。用一个非常简单的自耦变压器来控制单区
5、的温度。Thetubewasequippedwithanetworkofquartzpipes,quartzvalves,andflowmeters.Allsystemsresembledresearchlaboratoryequipmentratherthanindustrialmanufacturingequipment.pipen.管子,笛子,烟斗,管乐器valven.阀门,阀,瓣膜,瓣,闸阀flowmetern.流量计resemblev.像,很像,比拟译文：石英管配备有石英管、石英阀门和
6、流量计组成的网络。所有系统都类似于研究实验设备，而不是工业制造设备。Thewaferswerepushedintoandpulledoutofthetubesmanually.Coolingofwafersusuallytookplaceinacoolzonewithinthediffusiontube,whichallowedthewaferstocooltoatemperaturesuitableforhandling.wafersn.晶圆译文：手动把晶圆送入和退出石英管。晶圆冷却通常在扩散
7、管的阴凉区内进行，使晶圆冷却到适合处理的温度。Theprogrammedheatingandcoolingwasnotusedbecauseofthedifficultyinmaintaininggoodtemperatureprofiles.profilen.规范概要SupplementaryWords：ProgramOverviewandFile程序概要和文件译文：不使用程序加热和冷却是因为它难以保持良好的温度分布。Theusedgaseswerejustemittedintotheatmo
8、spherebyventsplacedjustabovediffusiontubeexhausts.SupplementaryWords：exhaustvalve排气阀exhaustalgorithm穷举算法ventn.通风口,开衩,通风孔,出口,排放exhaustn.排气，排气装置译文：通过扩散管排气孔上方的通风孔把使用的气体通入到特定空间中。Therewasno“cleanroometiquette”,andthechainsmokerRobertNoycefrequentlysmokedi
