《真空系统介绍》PPT课件

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1、PV系统基本知识一、PV系统简介二、真空泵浦三、真空灌四、管道阀门及其工法介绍五、注意事项及常见缺失一、PV系统简介（PressureofVacuumSystemIntroduction）1、系统组成（SystemForm）PV系统即真空系统，主要由真空泵浦、真空灌、真空测量仪表及管道系统等组成。2、工业应用（IndustryApplication）应用于工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。3、真空概念（VacuumConcept)一种说法是,当容器中的压力低于大气压力时,把低于

2、大气压力的部分叫做真空,而容器内的压力叫绝对压力。另一种说法是,凡压力比大气压力低的容器里的空间都称做真空。真空有程度上的区别:当容器内没有压力即绝对压力等于零时,叫做完全真空;其余叫做不完全真空。压强关系图4、真空常用单位：TorrmmHgInHg换算关系：1atm=760mmHg=760torr=29.92inHg奇信电子真空系统架构真空机真空机储气罐5m³2楼用气点3楼用气点排气排气二、真空泵浦（VacuumPump）1、真空泵的分类1.1、按真空度分：高真空-4帕以下中真空1~-4帕低真空大气压到1帕1.2、按工作原理分按真空泵的工作原

3、理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。1.2.1、气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1)变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。其中旋转式真空泵又分为油封式真空泵、干式真空泵、液环式真空泵、罗茨真空泵。2）动量传输泵这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。1.2.2、气体捕集泵这种泵是一种使气体分子被吸附

4、或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。1）吸附泵它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。2）吸气剂泵它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。3）吸气剂离子泵它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。4）低温泵利用低温表面捕集气体的真空泵2、水环真空泵2.1水环真空泵简介简称水环泵，是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为200

5、0~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。2.2、水环泵的工作原理在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环

6、的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。水环泵的工作原理如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。2.3水环泵的优缺点水环泵与其他机械泵相比有如下优点：结

7、构简单，制造精度要求不高，容易加工。结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。水环泵也有其缺点效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液，

8、可达130Pa。3、罗茨泵3.1、罗茨泵简介罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气