悬臂梁MOSFET霍尔磁传感器研究

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1、黑龙江大学硕士学位论文悬臂梁MOSFET霍尔磁传感器研究姓名：魏娜申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：温殿忠20080510黑龙江大学硕士学位论文AbstractHallsensorisoneofthemostmatureaJld埘delyuSedmagneticsenSorS．ItcanbeuSedt0measurenotonlymagneticfield，butcu玎ent，Veloci吼position，angleandrotatespeed，plays锄imponantroleinpreciselymeaSure，industrialcon仃ol，automo

2、tiveelectronics，homeelectricalproductsandsoon．Inmispaper’aMOSFETHallma盟etjc9ensorhaSbeendesignedandf．abricatedonthecan_!tileverbe锄．ThesourceanddrainofMOSFETist11ecu玎entcon仃olpole，mecl埘entbe眦ensourceanddrainIDsiscontrollingcurrem，MoHanpolesareplacedbyt11etwosidesofgateandnearbymedrain，withmeactio

3、nofVerticalma铲leticfield，HalloutputVoltageVHisproducedontheHalloutputpoles．WhentIleintensit)rofmagneticfieldischallged，theoutputVoltageisalsochanged．BaSedontherelatedresearchofHallmagneticSensorathomeandabmad，mispaperintroducedthebasicprincipleofHall—effect'、ⅣorkprincipleofMOSFETHalldevice，tlles

4、tructureandthef-abricationprocessofMOSFETHallmagneticSenSorontllemicrocantileVerbe锄aremSodesigned．WealSosimulatedthef．abricationproceSSt0柏．ordcredibletecIlIliquepledge氨时ttleaCtu甜processofdeVice．Using吐leMllltisiInSo觚rare，me锄plifiedcirc疵issiIIlulatedanddebuggedpractically-Du血gmeeXpe血1e鸲mech撒cteris

5、ticofsensoristeStedand锄alyzed，a胁matⅡlelineari瓤lag，repeat：abili瓢sensitiV时andprecisionarecalculated．Thelinearit)rofseIlS0lris±O．0384％F·S，t11elagis±O．0092％，·S，n他repea讪ili哆is±0．072％，·S，订伦SensitiVi够isl．212小吖7’，theprecisionisO．0821％F·S．ItiSprovedthatnledesi班schemeisfeaSibletomaIlu￡坨tureMOSFETHallmagne

6、ticSensorwitIltIles仃uctureofmicrocantileverbe锄．It’steStingequipmentissimple，si印aldispoSalisConVeIlient，meprocesscanbecompatibletoICtechnologyandcanberealizedtheintegrationofHallsensor．KeyWords：camileverbeam；HaJlmagneticsenSor；Hallefrect；MOSFET．Il·黑龙江大学硕士学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研

7、究成果．据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得黑龙江大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料．与我一同工作的同志对本研究所作的任何贡献均已在论文中作了明确地说明并表示谢意．学位文作者签名：降签字日期：擀f月7日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解墨蕉适太堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅．本人授权