真空泵培训教程

《真空泵培训教程》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、真空泵培训材料（一）合肥工业大学机械与汽车工程学院真空与过程装备教研室王君2006年11月真空泵培训基本内容1、真空泵的基础知识；2、液环式真空泵；3、旋片式真空泵；4、滑阀式真空泵；5、罗茨式真空泵；6、分子泵；7、无油干式真空泵；8、喷射式真空泵；9、气体捕集真空泵。本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相关标准、安装、使用及维护的基本知识。关标准、安装、使用及维护的基本知识。合肥工业大学真空与过程装备教研室合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.1定义真空泵是根据一定的

2、工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。解释：解释：••真空泵的工作原理：机械、物理、化学。真空泵的工作原理：机械、物理、化学。••真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。••真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。••真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。粗低真空高真空超高真空•食品行业•冶炼•空间模拟•化工行业•真空热处理、真空焊接•材料科学分析•冷冻干燥•集成电路、半导体制造•物理现象研究•轻工行业•各种镀膜

3、工艺•表面分析•制药行业•各种表面加工工艺•高纯材料制备(如：•导电(真空放电灯具)•化学研究MBE)•离子注入•隔离作用（绝热）合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.2真空系统的基本组成91真空室82高真空泵（主泵）3预抽泵173a前级泵84高真空阀门5低真空阀门56前级管道47放气阀78低真空计29高真空计63a3合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.3抽速特性曲线1234抽速10-1010-10--1入口压力-3合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.4

4、真空条件下气体的流动特点黏滞流分子流(分子间易发生碰撞)(分子运动相对独立)合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识2、真空泵的类型（按真空获得的方法）真空获得的方法气体输送气体捕集变容真空泵动量传输真空泵吸附泵往复式旋转式分子真空泵喷射真空泵扩散泵冷阱隔膜式液环泵低温泵牵引泵水喷射泵活塞式螺杆泵升华泵涡轮泵气体喷射泵旋片泵油封泵分子筛吸附泵复合泵蒸汽喷射泵定片泵滑阀泵溅射离子泵罗茨泵蜗旋泵参见国标：GB913-66《泵分类及技术条件》合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识2、真空泵的类型（按真空泵用途）¢主泵(Mainpump):在

5、真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵；¢粗抽泵(Roughingvacuumpump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵；¢前级泵(Backingvacuumpump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵；¢维持泵(Holdingvacuumpump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度；¢粗/低真空泵(Rough/Lowvacuumpump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵；¢高真空泵(Highvacuumpump):

6、在高真空范围工作的真空泵；¢超高真空泵(Ultrahighvacuumpump):在超高真空范围工作的真空泵；¢增压真空泵(Boostervacuumpump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。参见国标：GB/T3163-97《真空技术名词术语》合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识3、机械真空泵凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空泵。¢变容真空泵（Positivedisplacementpump）：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。¢动量传输泵（Kineticvacuumpump）

7、：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。常见机械真空泵图形符号参见国标：GB/T3164-93《真空技术系统图用图形符号》合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识4、机械真空泵性能参量¢抽气速率（Flowrate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。¢极限压力（Ultimatepressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。¢启动压力（Statingpressure）:泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。¢前级压力（Backingpressure）:排气压力低

8、于一个大气