卸压阀(真空破坏阀)

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1、卸压阀（真空破坏阀）1FGL12Series●非滑动方式　●控制范围0~60秒型号动作方式最大流量电压型号动作方式最大流量电压FGL11常闭型32/minDC12,24VFGL21常闭型50/minDC12,24V颗粒卷上完全消除。●控制真空破坏时间●最佳模式的流量控制不需要微妙的流量、时间调整。通过控制到最大流量的时间，能够控制真空室真空的破坏时间。●非滑动的阀构造使用上的注意事项●没有滞留的构造没有滑动部件，因此没有因滑动从进口到出口是直线平滑的流路产生的颗粒的发生。为了正确使用本商品构造。请务必阅读卷头第9页和88页记录的

2、注意事项。●可选的连接方式●高耐腐蚀材料准备由双重嵌入接头和JXR阳接阀体等流路部件采用不锈钢头。●关于使用流体（SUS316L、高耐腐蚀材料）。●安装●关于配管连接时的方向所谓卸压阀动作原理半导体制造装置的多数晶片处理工序是在真空室内进行的。晶片通过增加线圈中流动的电流，动铁心中作用的吸引力增加，支撑出入真空室的时候，有必要使真空室临时从真空返回到大气状态，动铁心的板弹簧变位到与负荷f平衡的位置，这样来改变阀的开度。这时，导入的空气卷起堆积的颗粒，这成为真空室回收率降低的通过内置的控制器，使电流发生连续的变化，能够得到如图1所主要原因。示的流量曲线。

3、本商品通过按时间比例改变流量来控制破坏真空的时间。防止颗粒的卷起，是能够提高生产率的真空破坏阀。●原来的方法●使用卸压阀●内部构造图板弹簧真空室气体阀真空室针阀卸压阀控制器气体阀流量氮气气体阀氮气时间图1流量特性动铁心通孔线圈1221FGL12Series卸压阀（真空破坏阀）规格项目FGL11-4SFGL11-4RMFGL21-4SFGL21-4RM使用流体氮气一次侧压力0.15MPa二次侧压力范围1.3×10-6～1×105Pa（abs）最大流量/min3250阀座泄漏cm3/min以下0.5外部泄漏1.3×10-9Pa・m3/s(He)耐

4、压MPa0.99流体温度℃10～30环境温度℃10～30连接方式1/4″1/4″1/4″1/4″双重嵌入接头JXR阳接头注1双重嵌入接头JXR阳接头注1安装方向自由功率W810电源电压DC12V、24V动作信号·压力信号DC12V、24V注1：JXR接头可以与VCR接头连接。型号表示方法FGL1314RM2015DC12V机种型号常闭型调整压力0.15MPa符号内容a系列a系列1小（流量32/min）2大（流量50/min）b连接方式b连接方式4RM1/4″JXR阳接头4S1/4″双重嵌入接头c流量c流量3232/min仅限于制作FGL115

5、050/min仅限于制作FGL21d电压d电压DC12VDC12VDC24VDC24V1231FGL12Series内部构造和部件清单11FGL1-4RM2FGL1-4S2611655234234编号部件名称材质编号部件名称材质●1O形圈FKM●4通孔SUS316L●2线圈组件●5O形圈FKM●3动铁心●6O形圈FKM外形尺寸图1FGL1-4RM2EA1/4"JXR阳接头FGL11-4RMINOUTB机种型号符号ABCφDEFGL11-4S-32-0151171910538（46.5）FGL21-4S-50-0151292511350（4

6、6.5）CφD1FGL1-4S2FA1/4"双重嵌入接头FGL21-4SINOUTFLOWB机种型号符号ABCDφEFFGL11-4S-32-015117191057038（46.5）DFGL21-4S-32-015129251137850（46.5）CφE1241FGL12Series卸压阀（真空破坏阀）配管因为卸压阀有最大0.5cm3/min的阀座泄漏，因此请在IN侧使用其它气阀。真空室卸压阀气阀氮气电缆的接线卸压阀附属的电缆请按照下图进行连接。按照接线选择接点输入和DC电压输入。接点输入DC电压输入开式接插件红红白白茶茶黄灰灰黄蓝蓝绿绿有接点黑黑

7、灰蓝绿黑控制信号和流量特性卸压阀按照动作信号（信号）和压力信号（压力）进行动作。与信号ON同时预先设定的实践T内达到最大流量，信号OFF时阀关闭。另外，若希望，可以利用助手模式。助手模式是在真空室负压状态下，防止门被打开，环境氛围气体被卷入的模式。转向助手模式是在信号ON状态下，按照压力ON时间进行切换，流量从最大流量开始调整为助手流量。最大流量流量助手流量时间大气压压力时间125