Nova_ NanoSEM 50 扫描电子显微镜介绍

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1、产品数据NovaNanoSEM系列可对最广范围样品进行超高分辨率表征和分析，极其简便！精确真实的纳米尺度信息。卓越的高电压和低电压衬度。100V以下的高分辨率成像。快速分析。使用低真空对大多数带电或污染样品进行超高分辨率研究。这些均为Nova™NanoSEM场发射扫描电镜多年前即已具备的基本特征。NovaNanoSEM50系列产品令一切更有可能。除先进的光学（包括双模最终透镜）、SE/BSE（二次电子/背散射电子）透镜内探测和射束减速的强大组合功能之外，NovaNanoSEM50系列产品采用了

2、最新一代高灵敏度伸缩式SE/BSE和STEM探测器的全新套件，并具备多功能SE/BSE过滤功能，最大程度地优化重要信息。智能扫描模式可用于最大程度减少假像。样品清洁对于低电压高分辨率成像至关重要，可使用FEI整合解决方案（使样品表面免于碳氢化合物污染）加以维护。NovaNanoSEM450配置了最高200nA射束电流和大型电动倾斜样品台，分析能力因此也大幅提升。一切均不会影响NovaNanoSEM的高分辨率性能。NovaNanoSEM50系列产品可使用其独一无二的低真空能力表征或分析更多样品，主要

3、优点包括大多数非导电或污染材料。由于FEIHelix™探测器技术，低真空表征可一直扩•场发射SEM（带超稳定且高电流Schottky电展至超高分辨率。大小样品均可轻易置入大型样品室，并置于NovaNanoSEM高度子枪）精确且稳定的样品台上。此外，高清相机和相关导航装置可帮助迅速发现兴趣所在•先进的光学和探测性能，包括沉浸模式、射区域并移至相应区域。束加速、透镜内TLD-SE和TLD-BSE、DBS和STEM，以实现最佳信息和图像优化选择至于nanoprototyping，NovaNanoSEM5

4、0系列产品可提供最全面的整合工具集合，•射束着陆能量、低至50V包括16位板载数字图案生成器和专用制图软件、高速静电射束熄灭装置以及用于•1.4nm@1kV，非射束减速直接电子束写入式纳米结构的气体注射系统。NovaNanoSEM650样品台配置了压电•全球唯一真正的高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜(FESEM)：1.8nm@3kV、30Pa驱动马达，可在150x150mm移动范围内完全实现更细致且更高的XY可重复性。•最高200nA，适于高或低真空分析各种挑战性材料均可取得令人瞩目的结果，尤其

5、是纳米颗粒和粉末、纳米管和纳米•集成的16位扫描/制图引擎线、塑胶电子、玻璃基板、有机材料和金刚石薄膜等。样品或信息探寻的应用性•超洁净、无油滚动和涡抽气真空系统和多功能性令NovaNanoSEM50系列产品成为最苛刻纳米尺度表征和分析的完美解•150x150mm高度精确、高度稳定的压电驱动样品台(NovaNanoSEM650)决方案。产品数据Nova™NanoSEM50系列基本规格探测器•透镜内SE探测器(TLD-SE)•透镜内BSE探测器(TLD-BSE)电子光学•Everhardt-Thor

6、nleySE探测器•高分辨率场发射SEM镜筒：•低真空SE探测器(LVD)–双模（不受场约束和沉浸）最终透镜–60度物镜几何•IR-CCD–加热物镜孔径•高灵敏度低电压定向背散射探测器(DBS)、透镜安装*或伸缩式*–“经由透镜”差动抽气技术•伸缩式STEMBFDFHAADF探测器*–射束减速与样品台偏置：+50V--4000V•TV速率低真空固态BSE探测器(GAD)*–高稳定性Schottky场发射枪•UHR低真空SE探测器(Helix探测器)*•射线源寿命，12个月保证真空系统电子束分辨率•

7、完整的无油真空系统•高真空成像，最佳WD•1x220l/sTMP–0.8nm@30kV(STEM)*–1.0nm@15kV(SE)•1个预真空泵，滚动–1.4nm@1kV(SE)，无射束减速•2xIGP–3.5nm@100V(DBS)*•试件室真空（高真空）小于6x10-6mbar(经24小时抽气后)•高真空分析，分析WD•试件室真空（低真空）小于2mBar–3.0nm@15kV，5nA(TLD-SE)•气体抽空时间：小于3.5分钟•低真空成像，最佳WD–1.5nm@10kV（Helix探测器）–

8、1.8nm@3kV（Helix探测器）样品杆•多支柱样品杆，直接安装到样品台上、最多承托5个标准支柱(Ø12mm)电子束参数范围•夹钳样品杆*，可夹持不规则、大型或重型样品到样品台上•射束着陆能量：50eV-30keV•适用于无预真空锁系统的横截面样品杆•探针电流：0.6pA-200nA（可持续调节）•通用安装基座(UMB)，可稳定、灵活地安装样品和样品杆•最大水平视场宽度：4.0mm@5mmWD（相当于四象限视（如扁平和预倾斜支柱）以及TEM栅格所需的成排样品杆图中35倍的最小放