07-关于碟片翘曲

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1、关于碟片翘曲关于碟片翘曲在光盘生产尤其是DVD光盘的生产中，翘曲是一个非常重要的物理参数指标，碟片翘曲可分为径向翘曲（RADIALDEVIATION）和切向翘曲（TANGENTIALDEVIATION）两大类，在CD生产中基片与基准面的最大翘曲偏差角度为±1.6°,而DVD成品的径向翘曲指标为±0.8°，切向翘曲指标为±0.3°。从注塑开始到UV光照的整个复制过程以及印刷、包装、运输过程等都有可能产生翘曲，根据不同的原因分别进行讨论：1.在注塑成型过程中产生翘曲：在CD和DVD的生产中，注塑过程是产生翘曲的最主要因素，无论是什么模

2、具、什么母盘、什么注塑机及参数，注塑出来的碟片都基本上不可能是完全平整的，都不同程度地存在着翘曲问题，当翘曲程度超过了光盘标准或生产工艺地要求指标，就需要对设备进行调整。对于CD而言，由于只使用一个模具压片直接成型，所以对翘曲的控制比较简单，在调整的过程中，只需要对相应注塑机调整到合格范围即可；而DVD则不同，它由两张厚度约0.6毫米的半片粘合而成，所以两张半片各自的翘曲情况会影响到最终成品的翘曲状况，所以在控制碟片翘曲的过程中必须同时对Layer0和Layer1两台注塑机进行调整，并要调整到一个适合生产工艺的翘曲曲线。影响碟片（

3、或半片）翘曲的注塑因素主要有以下几方面：①模具温度设置不合理，或冷却时间设置不对，两半模不均匀冷却解决方案：适当调整模具的温度，延长冷却时间②保压压力太高或保压时间过长，碟片在内应力的作用下产生翘曲变形解决方案：适当降低保压压力，缩短保压时间③保压压力太低或保压时间过短，碟片因收缩而产生翘曲变形解决方案：适当降低保压压力，缩短保压时间④在开模（镜面一侧）或基片顶出（母盘一侧）时，排气时间设定不正确解决方案：检查设备进气气压是否合适，适当调整动模和定模的排气起始时间和延迟时间，必要时清理排气槽⑤-7-关于碟片翘曲注射、保压时间的总和

4、必须大于浇口封闭的时间，如果注射保压时间小于浇口封闭时间，则可能变形增大①动模和定模的温度设定不合理，温度及温差设定不正确解决方案：适当调整模具动模和定模的温度设置，包括镜面温度，切刀温度。小镜面温度以及水杯温度等②定模套与镜面之间过度热传递，导致镜面温度异常解决方案：检查与模具接触的隔热间隙，检查是否存在污染物③母盘厚度异常解决方案：检查母盘厚度，更换厚度合适的母盘④母盘的信息沟槽的角度和深度设计不合理造成成型脱模困难而产生翘曲解决方案：检查脱模状况，检查是否有严重云纹，必要时更换母盘在根据注塑情况调整翘曲时务必根据实际的情况进

5、行调整，以调整最少的参数达到最佳的效果，最常用的方案就是调整模具温度的设置。在DVD生产中通过调整两个半片的翘曲来达到最终的翘曲平衡：根据DATADISCDVD生产线的工艺情况，一般L0的半片翘曲调到-0.6°～-0.8°，曲线由内向外呈下降趋势，而L1的半片翘曲调到-0.8°～-1.0°，曲线由内向外呈下降趋势。对于SingulusDVD生产线，一般L0和L1的半片翘曲都调到-0.8°～-1.0°，曲线由内向外呈下降趋势。按照这个曲线来调整，可以得到最终碟片的翘曲在标准范围之内。1.基片预冷却产生翘曲：注射机出来的基片还有较高的

6、温度，特别是基片内部，所以在电镀涂胶之前要进行冷却，以便准确的控制电镀涂布时的工艺和质量的稳定性。目前各中设备普遍采用的方法是碟片的平面与冷却风的流向平行，例如M2生产线用螺杆转动方式；STEAG生产线采用皮带传送碟片方式，ODME生产线采用卡闸式转动方式，SingulusSpaceline和DATADISC采用皮带水平传送的方式等等。在这冷却的过程中碟片翘曲产生的原因主要有两个方面：1、-7-关于碟片翘曲传送装置机械位置没有调整好，碟片由注塑机放置到传送带时受力不均产生变形；1、碟片在冷却装置中各点的冷却速度不一样，产生内应力形

7、成翘曲；2、风冷装置发生故障，过滤系统堵塞或破裂，导致碟片未正常冷却对于这个问题一般解决方案就是把传送装置各部分的位置调整到最佳位置，注意风冷系统的风机是否运转正常，检查过滤系统堵塞或破裂，必要时进行更换。另外注意测量白片的翘曲时，不可以直接拿刚注塑出来的碟片，因为此时碟片还比较烫，各种物理特性和光学特性都还没有稳定，测量的值不是可信的数值。要得到可信的数据，必须取经过传送冷却后的碟片进行检测，以这个检测参数为参考进行设备调整。1.溅镀时产生翘曲：溅镀产生碟片翘曲主要是由于在溅镀的过程中产生了较大电弧，导致电镀设备温度就会迅速上升

8、而使碟片发生变形，至于造成热量非同寻常地增加主要有以下一些因素：①溅镀参数设定不合理②溅镀腔MASK或靶材有问题③溅镀腔室漏气④真空泵抽真空的能力降低⑤溅镀腔室有异物导致轻微短路现象⑥溅镀腔室磁场系统发生异常对于因上述原因引起的溅镀电弧过大、温度过