《ESD基础知识培训B》PPT课件

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1、ESD基本知识培训教材Jul,2010内容:术语定义静电的产生静电的影响静电释放(ESD)ESD材料ESD控制方法1.静电相关术语a.静电：物体表面过剩或不足的静止的电荷b.静电场：静电在其周围形成的电场c.静电放电：两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。d.静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压e.静电敏感器件：对静电放电敏感的器件f.接地：电气连接到能供给或接受大量电荷的物体，如大地，船等.g.中和：利用异性

2、电荷使静电消失h.防静电工作区：配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地2.静电的产生1.静电的产生方式a.摩擦:在日常生活中，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电，而产生静电的最普通方法，就是摩擦生电。材料的绝缘性越好，越容易是使用摩擦生电。另外，任何两种不同物质的物体接触后再分离，也能产生静电；。b.感应：针对导电材料而言，因电子能在它的表面自由流动，如将其置于一电场中，由于同性相斥，异性相吸，正负电子就会转移。c.传导：针对导电材料而言，因电子能在它

3、的表面自由流动，如与带电物体接触，将发生电荷转移。Tribo(Seperation)(摩擦)Induce(感应)Sparking(电火花)IONsources(离子源)Particlesspray(dryAir)(粒子喷射)产生正电荷材料产生负电荷材料2.静电的产生2.静电度量a.Charge(电荷）COULOMB(库仑C，纳库仑nC）1nC=1/109C=6.25x1011electronsb.静电产生的大小还与环境的温度和湿度有关。温度高和湿度低，易产生静电；尤其是湿度对静电产生的大小有较大的影响。2.静电的产生3.静电的影

4、响集成电路元器件的线路缩小，耐压降低，线路面积减小，使得器件耐静集成电路元器件的线路缩小，耐压降低，线路面积减小，使得器件耐静电冲击能力的减弱，静电电场（StaticElectricField）和静电电流（ESDcurrent）成为这些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用，导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动，空气流动，搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感，实际上，集成度高的元器件电路都很敏感。1.静电对电子元件的影响A）静电吸附灰尘，改变线路间的阻抗，影响产品的功能与

5、寿命。B）因电场或电流破坏元件的绝缘或导体，使元件不能工作（完全破坏）。C）因瞬间的电场或电流产生的热，元件受伤，仍能工作，寿命受损。3.静电的影响2、静电损伤的特点：a.隐蔽性人体不能直接感知静电，除非发生静电放电，但发生静电放电，人体也不一定能有电击的感觉。这是因为人体感知的静电放电电压为2-3KV。b.潜伏性有些电子元器件受到静电损伤后性能没有明显的下降，但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患，而且增加了器件对静电的敏感性。已产生的问题并无任何方法可治愈。3.随机性电子元件什么情况下会遭受到静电破坏呢？可以这么说，从一个

6、元件生产后一直到它损坏以前所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性。由于静电的产生和放电都是瞬间发生的，及难预测和防护。4.复杂性静电放电损伤分板工作，因电子产品的精细，微小的结构特点而费时、费事、费钱，要求较复杂的技术往往需要使用扫描电镜等精密仪器，即使如此有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别，使人误把静电损伤失效当作其它失效，这是对静电放电损害未充分认识之前，常常归咎于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉的掩盖了失效的真正原因。5.严重性ESD问题表面上看来只影响了制成品的用家，但实际上亦影响了

7、各层次的制造商，如：保用费、维修及公司的声誉等等。静电的影响3.静电损坏引起的成本大小分布X10损失4.静电释放(ESD)什么是ESD?ESD:ElectrostaticDischarge的缩写,即静电放电.定义:在不同的电位情况下,静电荷从一处体表转移至另一处体表所产生的中和效应。ESD属于超压电效应(EOS)的范畴。2.什么是EOS?EOS:ElectricalOverstress的缩写,即电过载.定义:对产品施加超过其所能承受的做高电压或电流所产生的效应。电过载效应是一种因电流的瞬间变化、震荡或电磁干扰对电子零件造成故障或

8、退化的一种现象。4.静电释放(ESD)3.静电释放的模式人体型式即指当人体活动时身体和衣服之间的摩擦产生摩擦电荷。当人们手持ESD敏感的装置而不先释放电荷到地，摩擦电荷将会移向ESD敏感的装置而造成损坏。b.微电子器件带电型式既指这些ESD敏感的装置，尤其对塑料