真空机组标准汇总表

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1、真空机组标准汇总表1、GB/T3163-2007真空技术术语[1] 2、GB/T3164-2007真空技术图形符号3、GB/T4982-2003真空技术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型4、GB/T4983-2003真空技术快卸连接器尺寸第2部分：拧紧型5、GB/T6070-2007真空技术法兰尺寸6、GB/T6071-2003超高真空法兰7、GB/T7774-2007真空技术涡轮分子泵性能参数的测量8、GB/T11164-1999真空镀膜设备通用技术条件9、GB/T16709-1996真空技术管路配件装配尺寸10、GB/T18193-2000真空技术质谱检漏仪校准11、GB/T19955

2、.1-2005蒸汽流真空泵性能测量方法第1部分：体积流率(抽速)的测量12、GB/T19955.2-2005蒸汽流真空泵性能测量方法第2部分：临界前级压力的测量13、GB/T19956.1-2005容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率(抽速)的测量14、GB/T19956.2-2005容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量15、GB/T21271-2007真空技术真空泵噪声测量16、GB/T21272-2007蒸汽流真空泵性能测量方法泵液返流率和加热时间的测量17、GB22360-2008真空泵安全要求18、JB/T1090-1991J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸19、JB

3、/T1091-1991JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸20、JB/T1092-1991O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸21、JB/T1246-2007真空技术滑阀真空泵22、JB/T2965-1992溅射离子泵性能测试方法23、JB/T4081-1991溅射离子泵型式与基本参数24、JB/T4082-1991溅射离子泵技术条件25、JB/T5410-1991低真空电磁压差充气阀型式与基本参数26、JB/T5971-1992单级多旋片式真空泵27、JB/T6446-2004真空阀门28、JB/T6533-2005旋片真空泵29、JB/T6873-2005热偶真空计30、JB/T69

4、21-2004罗茨真空泵机组31、JB/T6922-2004真空蒸发镀膜设备32、JB/T6923-2007真空技术真空-加压浸渍设备33、JB/T7265-2004蒸汽流真空泵34、JB/T7462-2005热阴极电离真空规管35、JB/T7463-2005热阴极电离真空计36、JB/T7673-1995真空设备型号编制方法37、JB/T7674-2005罗茨真空泵38、JB/T7675-2005往复真空泵39、JB/T8105.1-1999橡胶密封真空规管接头40、JB/T8105.2-1999金属密封真空规管接头41、JB/T8107-1999容积真空泵振动测量方法42、JB/T

5、8540-2004水蒸气喷射真空泵43、JB/T8944-1999单级旋片真空泵44、JB/T8945-1999真空溅射镀膜设备45、JB/T8946-1999真空离子镀膜设备46、JB/T9125-2007真空技术涡轮分子泵47、JB/T10462-2004水喷射真空泵48、JB/T10463-2004真空磁流体动密封件49、JB/T10550-2006真空技术真空烧结炉50、JB/T10551-2006真空技术真空感应熔炼炉51、JB/T10552-2006真空技术爪型干式真空泵52、JB/T10553-2006真空技术扩散硅压阻真空计53、JB/T10770-2007真空技术液环

6、真空泵验收规范54、JB/T10074-2004电阻真空计技术条件55、JB/T10075-1999冷阴极电离真空计技术条件(原ZBY285-84)56、JB/T10076-1999冷阴极电离真空规管技术条件(原ZBY286-84)57、JB/T10771-2007真空技术复合分子泵