《真空技术概论》PPT课件

《《真空技术概论》PPT课件》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术的历史回顾与近代发展真空技术概论主讲人：杨乃恒教授东北大学真空技术概论真空技术的历史回顾与近代发展一.前言二.经典真空技术及其应用的历史回顾三、真空实用技术及其应用四．真空技术的近代发展东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论一.前言“真空技术”作为独立的学科体系，始于19世纪末20世纪初。20世纪中期，随着电子器件、原子能、航天技术对真空条件的需求，推动了真空技术的长足进步。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论我国在20世纪60年代初，把真空技术作为极端技术（高压、真空、高温、低温

2、）之一，受到国家的高度重视。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论我校的“真空技术及设备”专业正是在这种情况下，于1958年诞生的，1962年有了第一届毕业生。1979年成立中国真空学会。1983年中国中国真空学会作为中国唯一的会员单位加入了国际真空科学技术于应用协会（IUVSTA）。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论传统的真空技术主要包括：真空的获得、检测以及真空系统的配置等。成分配合许多学科创新的条件和手段。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论然而，现代科学技术的相互交叉渗透，极大地丰富了真空技术的内涵。尤

3、其是超高真空、超清洁表面的出现，揭示了自然界中许多新的现象和规律，纳米科技就是一例。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论根据IUVSTA的划分，现代真空技术的分支学科包括：经典的真空技术（真空获得、检测、系统及其常规应用），真空冶金及表面工程，等离子体科学于技术，薄膜，电子材料及加工工艺，表面科学，应用表面科学，纳米科学与技术。目前我国真空学会也是安此分支设置专业委员会的。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论因此真空技术不仅为现代许多科技所需要，而且在更深层次的物理学研究中也是一个非常重要的物理范畴。东北大学首期《真空技术》培训

4、班系列教程之一真空技术概论二.经典真空技术及其应用的历史回顾1何谓真空2真空技术的发展历史东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论1何谓真空所谓的真空，一种是物理学上的“真空”，没有或者不计气体分子和原子存在的物理空间，仅存在各种能量粒子的场空间；另一种是应用物理与技术所讨论的“真空”，指低于一个大气压力的稀薄气体的空间状态。“真空”一词来自拉丁语“Vaccum”，原意是“空虚”。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论地球上存在着自然状态的真空。包围地球的大气层、受地心引力（空气分子重力）的作用，离地面越高、空气越稀薄。东北大学首期《

5、真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论通常衡量气体稀密程度的物理量是压力，因为气体分子处于无规则的热运动之中，与物体碰撞时会产生压力。气体分子密度越大，气体压力也越大。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论在海洋平面上，气体产生的压力值为101325Pa，约105Pa，此值称为标准大气压。而珠峰顶处的大气压力只有32000Pa。为海平面处压力的三分之一左右。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论大气压力随着离地高度的递增而降低，基本按指数规律下降。18公里高空，大气压力降到标准大气压的十分之一，96公里高空，只有百万分之一。地球大

6、气层以外的宇宙真空，称为“空间真空”，它是典型的“自然真空”。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论人通过胸腔和腹腔之间的膈膜的收缩和放松迫使肺呼吸，吸气时胸腔压力接近大气压力，呼气时可降到大气压力以下，即人为真空状态。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论进一步，人们运用科技手段，发明了各种真空泵去抽掉密闭容器中的气体，获得“人为真空”，逐渐形成了“真空技术”这个学科。但是，即使在使用现代排气方法获得的最低压力，也只能达到10－12～10－13Pa。还远未达到绝对真空。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论2真空技

7、术的发展历史最早的真空获得和应用，可追溯到公元前六世纪，我国炼铁技术就相当进步，为了熔化铁，在炼铁炉上配有鼓风设备。最初使用的叫“”的皮囊鼓风、“风箱”鼓风。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论风箱的作用过程包括：负压吸气和增压排气。与现在的往复活塞真空泵的作用原理基本相同。这种风箱在公元1367年时就已成为炼铁的重要工具了。这是最早真空获得和应用的实例。东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一真空技术概论还有更为典型的例子是中医的拔火罐。两千年前，它已在我国民间用作治病的工具。它很好地利用了空气热胀冷缩、蒸汽冷凝等物理现象来形成罐内真空。东北

8、大学首期《