《真空系统组成a》PPT课件

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1、真空系统组成《真空技术基础》之一2前言“真空技术”作为独立的学科体系，诞生于19世纪末20世纪初。20世纪中期，随着电子器件、原子能、航天技术对真空条件的需求，推动了真空技术的长足进步。3现在，在我们身边利用真空技术的日用品到处可见。例如真空保温杯，保温饭盒，暖水瓶；在食品方面就更多了，如真空罐装液体，真空挤奶，真空干燥食品，真空包装，真空炸制食品等，举不胜举。真空包装机4压差力的利用如电除尘器，高楼擦玻璃的机器人，板材的运输等（如Al板、Cu板、玻璃板的运输）。玻璃板的运输家用吸尘器5电子管和电

2、视显像管（电子束管），利用绝热效果的不锈钢制的罐、杯、碗，真空包装食品，真空下使之干燥的食品等为代表的物品。电子管真空保温杯，保温饭盒6太阳能电池相机镜头另一方面，直接利用真空的制品也有很多，真空蒸发和真空涂层技术制作的透镜、玻璃、反射镜、太阳能电池、LED照明、液晶显示、IC器件等。LED照明7概述：真空系统组成1.1真空、真空系统的概念1.2真空应用概述1.3真空系统的组成和分类1.4真空系统设计的基本内容1.5真空抽气设备简介8真空：一般是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态

3、。真空绝不是没有任何物质的空间，现代抽真空技术所获得的真空空间中仍然存在着稀薄气体。真空度量：真空状态下气体的稀薄程度通常用气体的压力值来度量。1.1真空、真空系统的概念9图1地表以上的真空度10马德堡半球实验Magdeburg-spheresExperiment用两个直径119厘米的半球合起来，用水银真空泵将球内空气抽至粗真空，每个半球用8匹马才能向相反方向拉开。11由于真空技术的飞速发展，用炭素灯丝发明了白炽灯泡（1875年），为了使灯丝的寿命长，使灯泡内含O2少而采用真空抽气的办法。霓虹灯制

4、作设备白炽灯泡12首先，从获得的压力来看，从低真空到极高真空来分类如表所示。低真空105～102Pa中真空102～10-1Pa高真空10-1～10-5Pa超高真空10-5～10-8Pa极高真空10-8Pa以下13年作者科学技术1643年托里拆利760mmHg上的真空1650年帕斯卡大气压力随高度而变化，活塞式真空泵1654年波义耳定律理想气体的压力与体积的关系1738年Bernoulli气体分子运动论1775年Lavoisier大气的空气是N2和O2的混合物1802年盖吕萨克定律气体体积温度定律1

5、810年Medhurst第一条真空邮递线1811年阿佛加德罗气体恒定的分子密度1843年Samuda第一条真空铁路（都柏林）1850年Toepler汞柱真空泵1859年Maxwell气体分子速度分布定律14年作者科学技术1865年Sprengel汞滴下真空泵1874年Mcleod压缩式真空计1879年Edison碳丝白炽灯1879年Crookes阴极射线管1878年W.Gaede在德国诞生1881年VanderWaals真实气体状态方程1893年Dewar真空绝缘瓶1902年Fleming真空二极

6、管1905年Gaede旋转汞真空泵，Leybold使泵企业化1906年Pirani热传导真空计15年作者科学技术1907年Forest真空三极管1909年Coolidge钨丝白炽灯，钨的粉末冶金1909年Gaede发明旋片旋转泵（Gaede型泵）1909年Knudsen气体分子流1911年Gaede分子真空泵发明1915年CoolidgeX射线管1915年Gaede汞扩散泵发明S＝0.1～0.2L/s1916年Langmuir冷凝扩散泵发明S＝3～5L/s1916年Buckley热阴极电离计16年

7、作者科学技术1923年Holweck盘形分子泵1923年Gaede全金属三级汞扩散泵制造S＝60L/s，20Torr1935年Gaede气镇真空泵，机械泵气镇原理发明1936年Hickman分馏式油扩散泵1937年Penning冷阴极电离计1950年Bayard和Alpert超高真空计（称BA计）1953年Schwartz离子泵1953年Herb等吸气离子泵发明17年作者科学技术1951年Vacuum创刊（英国）1964年JVST创刊（美国）1958年第一次国际真空会议1961年第二次国际真空会议

8、1955年Heraeas公司机械增压泵1958年Hall溅射离子泵18真空系统：用一句话概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。具体说来,真空系统是由真空泵、真空计及其他元件如阀门、冷阱等等按一定要求组合而成的，具有所需抽气功能的装置。1.1真空、真空系统的概念19真空状态比大气状态具有一系列的特点：空气稀薄、氧气少、环境清洁。单位体积内气体分子数目明显减少，气体分子密度低，气体分子间或分子与其它质点间的碰撞次数减少，粒子运动无障碍。因此，在工业生产、科学研究等很多