《薄膜技术绪论》PPT课件

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1、薄膜物理与技术教材：唐伟忠.《薄膜材料制备原理、技术及应用》冶金工业出版社32学时，选修课绪论薄膜科学的发展历史薄膜的分类薄膜科学的研究内容薄膜科学的基本概念本课程的主要内容教材及参考书①two-dimensionmaterials②thin=lessthanaboutonemicron(10,000Angstroms,1000nm)③film=layerofmaterialonasubstrate(ifnosubstrate,itisa"foil")Whatisa"thinfilm"?一百多年来，人们对物质的物理性质的广泛研究，使物理学成为一个很大

2、的学科领域。在这个领域中，一些专门的知识进一步发展成为一个个独立的分支，薄膜物理就是该领域中一个相当重要的分支。薄膜科学的研究内容包含了制备技术、分析方法、结构观察、薄膜的应用以及薄膜的生长机理等及其丰富的内容。薄膜科学的发展历史对液体薄膜首先作了正式描写的是美国著名的科学家、作家兼政治家的富兰克林(BenjaminFranklin)，他在1774年的文件中留下了这样的描述：“不超过一茶匙的油，迅即地展开为数平方码，然后很惊人地慢慢扩展，直到抵达在下风处的水池边缘，布满了水池的那个区域，可能有半英亩（1英亩约为4000平方公尺）之广，而表面平滑的像面

3、镜子。”该薄膜的膜厚约为10Å，是一个单分子膜层。薄膜科学的发展历史薄膜科学的发展历史和液体薄膜相比较的话，固体薄膜的历史比较浅短。在现今留下的纪录里，最早的是1852年德国的化学家本生(RobertWilhelmBunsen)和Grove分别由化学反应和辉光放电(glowdischarge)确认了其所产生的固体薄膜。一般的固体薄膜，乃是由把原子或分子状的蒸发粒子沉积（或称蒸镀）在表面平滑的基板表面上所获得。而这类固体薄膜，一般就仅以薄膜来称呼。光学薄膜是薄膜科学中最早被深入研究的薄膜。随着各种光学透镜的发展，各种增透膜、减反射膜、滤光膜、分光膜等等

4、被精确的制备、检测和分析。进入上世纪70年代后，透光材料在建筑、装璜等方面被广泛应用，在房屋、车辆、太阳能电池、太阳能热水器等的透明光窗上采用增透、防辐射和反射等薄膜。这类产品已经广泛进入我们的日常生活中。薄膜科学的发展历史薄膜科学的发展历史我们一般可能没有特别意识到薄膜的存在，不过事实上在日常生活当中，我们可以见到各式各样的薄膜。例如：厨房用的铝箔（厚度约0.02mm，20μm）；保鲜膜（厚度约15μm）；保护或装饰物品表面的电镀层或胶膜；油漆等较厚的膜；眼镜、照相机镜片上的防紫外线或是防眩光膜；IC芯片及各种电子材料、装置上的镀膜等极薄的膜；下雨

5、时车窗上的水膜，或是漂浮在汤汁上面的油膜等，则是属于液体薄膜。薄膜材料由于其在微观结构、宏观性能等方面所具有的特殊性,在科学技术发展和人们的日常生活中发挥着越来越重要的作用。薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的科技工作者,而且受到各国高技术产业界的广泛关注。薄膜材料研究已经渗透到物理学、化学、材料科学、信息科学乃至生命科学等各个研究领域,薄膜科学已经逐渐发展成为一门多学科交叉的边缘学科。薄膜科学的发展历史从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起,薄膜的制备与应用已经有一千多年的发展历史。从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜材料则起始于上世纪五十年代

6、。直到上世纪80年代,薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科。促使薄膜科学迅速发展的重要原因是薄膜材料的强大的应用背景、低维凝聚态理论的不断发展和现代分析技术的出现及分析能力的不断提高。薄膜科学的发展历史薄膜科学的应用1.耐磨及表面防护涂层现在科学技术对机械部件提出了综合性能要求往往超出了单一材料可以达到的性能范围。在用涂层方法制备出材料组合，则可以有效地发挥各种材料的优点，同时避免各自的局限性。耐磨和防护涂层技术可以有效地降低各类部件的机械磨损、化学腐蚀及高温氧化倾向，从而延长使用寿命。涂层材料涉及氧化物、碳化物、氮化物、硼化物陶瓷及金属间的化合物等

7、，它们具有很高的硬度和熔点，耐磨性和耐化学腐蚀性能。高温电绝缘涂层　　高温电绝缘涂层根据其化学成分的不同，可分为许多种类。如石墨导体表面上的氮化硼或氧化铝、氟化铜涂层，到400℃仍有良好的电绝缘性能。金属导线上的搪瓷到700℃，磷酸盐为基的无机粘结剂涂层到1000℃，等离子喷涂氧化铝涂层在1300℃，都仍保持着良好的电绝缘性能。　　高温电绝缘涂层已在电力、电机、电器、电子、航空、原子能、空间技术等方面获得了广泛的应用。（1）耐磨涂层减小零件或工具的机械磨损。例如TiN、TiC涂层。（2）耐热涂层燃气涡轮发动机等需要较高温度使用的机械部件。增加其耐

8、热保护。（3）防腐涂层保护被涂层的部件，不受化学腐蚀性气氛的浸蚀。应用的领域包括石油化工、煤炭气化及核反应堆