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时间：2019-06-25
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1、蝕刻材料ElectronicMaterials電子材料1234圖6.1蝕刻的底切度5圖6.2(a)等方向蝕刻，(b)非等方向蝕刻6789101112圖6.3 三種乾蝕刻終點偵測器之原理圖131415圖6.4桶狀蝕刻反應器內的正視圖16圖6.5(a)電漿蝕刻和(b)RIE蝕刻的比較17圖6.6三極RIE的概略圖18圖6.7(a)RIE蝕刻機的概略圖，(b)電位分佈圖19圖6.8 濺擊蝕刻和濺鍍的概略圖20圖6.9MERIE(a)以永久磁鐵，(b)以電磁線圈產生磁場21圖6.10 磁場約束電漿蝕刻機的概略圖22圖6.11離子輔助蝕刻反應的原理23圖6.12ECR蝕刻機的概略圖24圖6.1
2、3ICP蝕刻機的概略圖25圖6.14CMP的概略圖262728
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