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扫描探针显微镜定量标定

扫描探针显微镜定量标定

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1、扫描探针显微镜定量标定李晖凌非线性力学国家重点实验室(LNM)LNM2009年度公共实验平台技术研讨会扫描探针显微镜(SPM)工作原理示意图针尖的曲率半径10~40nm弹性常数K:N/nm挠度弹性常数的标定方法TheoreticalMethods矩形梁弹性常数的标定方法StaticDeformationMethods: applyaknownforceasmalladdedmassareferenceleveranindentationdevice弹性常数的标定方法Added-MassMethodsM1弹性常数的标定方法ThermalNoiseMethodsTheEqui

2、partitionTheorem弹性常数的标定方法ThermalNoiseMethods无损　在位　简单StifferLevers:RelativelysmallthermalnoiseamplitudeLimitedbybandwidth弹性常数的标定方法ResonantFrequencyMethods矩形梁lw实验验证ModifiedResonantFrequencyMethodsArectangularbeam实验验证ModifiedResonantFrequencyMethodsArectangularbeamProvidedbymanufacturer0.03~

3、0.2N/mThermalnoisemethods0.18N/mModifiedResonantFrequencymethods0.140N/m进一步的问题悬臂梁的弹性变形：与环境流体的耦合三角形梁的标定：三维问题

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