废气处理设备

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3、塔式淋水塔式淋水塔式淋水塔式淋水塔式淋水塔燃烧式VOC处理设备淋水技术干式氮氧化物处理设备燃烧技术触媒燃烧式康肯公司是与与与大气有关的环境保护与大气有关的环境保护设备VOC处理设专业制造厂商。。。构筑。构筑多种系统技术，，，拥，拥拥拥备备备备备备有多年的技术经验。。。触媒技术热回收技术活性炭吸附式处理设备浓缩式VOC处理设备444燃烧式///电热式的长短处比较/电热式的长短处比较（（燃烧式（燃烧式）燃烧烧式废气处理设备烧式废气处理设备通过燃烧方式处理有毒废气长处　：可处理各类的废气短处　：必须使用燃

4、料→　燃料配管必要有有火焰有火焰→　需时时注意安全炉内温度分布不均一→→　→　温度控制困温度控制困难局部易产生高温→→　→产生生thermal生thermalthermalNoxthermalNox需需燃烧用的空气需燃烧用的空气→→　→产生生大量生大量废气无有毒气体处理时→→　→　二二二氧化碳二氧化碳及其他可燃燃性气体排放燃性气体排放555燃烧式///电热式的长短处比较/电热式的长短处比较（（电热式（电热式）电热式废气处理设备使用电电加热处理有毒废气电加热处理有毒废气长处：：可处理各类废气：可处理各

5、类废气无需燃料→→　→　无需无需燃料配管火焰不使用→安全温度分布均匀→→　→　反应温度反应温度容易控制无需燃烧用的空气→不不产生不产生thermalthermalNOxthermalNOx→废气少无有毒废气处理时→→　→　不产生不产生二氧化碳处理可燃气体时，，可减低设备能耗，可减低设备能耗※※　※　要想减少要想减少对环境的影响的话话，话，，电热，电热式是最出色的方法。666处理后排气中的水分对比废气量废气中的水分排气管管管道管道道道康肯电热式康肯电热式腐蚀和和和结露和结露的原因120L工序工序气体气

6、体4.04g100L燃烧式燃烧式35倍890L140g777康肯公司废气处理设备POU产品系列及选型参考图半导体制程工艺工艺制程气体清洁气体KT1000MKT1000MF/MFS处理工艺制程气体M与F的融合机.可对应300mmCVD链的高负荷处理设备。节能、省空间。硅烷SiH4氟气F2二氯硅烷SiH2Cl2KPL101-CVD氟化氢HFCVD乙硅烷Si2H6KT1000F耐粉尘常压等离子式处理设备化学磷化氢PH3处理含有三氟化氮气相氨气NH3三氟化氮NF3（NF3）气体乙硼烷B2H6KT1000H-

7、mini沉积正硅酸乙酯TEOS紧凑型KT1000H工艺氧化亚氮N2O乙氟烷C2F6六氟化钨WF6碳酰氟COF2KW100用水处理（湿式法）臭氧O3KT1000MOCKT1000HMOCVD氢气H2MOCVD工艺气体处理设备可同时处理金属有机氨气NH3含有乙氟烷（C2F6）等清洁气体化学气相硅烷SiH4四氟化硅SiF4KC100与工艺制程气体沉积工艺其他溴化氢HBr触媒式臭氧处理设备氯化氢HClKPL101W&D四氟化碳CF4常压等离子式处理设备Etching六氟化硫SF6蚀刻工艺三氯化硼BCl3其他

8、砷化氢AsH3KD101＆KD102KT1000EPIonImplant磷化氢PH3用吸附剂处理（干式法）用于处理含有高浓度离子注入工艺三氟化硼BF3氢气（H2）的气体KT1000EX/EXAEpitaxial氢气H2base可处理四氟化碳（CF4）二氯硅烷SiH2Cl2磊晶工艺六氟化硫（SF6）等气体888氯化氢HCl废气处理市场份额占有(2010)kanken30%Japan燃烧式Pionicsその他5%14%Kanken电热式30%燃焼式33%（kanken推测