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1、第21卷第3期哈尔滨商业大学学报(自然科学版)Vol.21No.32005年6月JournalofHarbinUniversityofCommerce(NaturalSciencesEdition)Jun.2005非球面及非球面测量技术12乔玉晶,吕 宁(1哈尔滨理工大学机械动力工程学院,黑龙江哈尔滨150080;2哈尔滨理工大学计算机与控制学院,黑龙江哈尔滨150080))摘 要:为了对非球面进行行之有效的测量,从非球面的面形描述和光学特点出发,对非球面各种测量方法进行了优缺点的对比和研究,同
2、时对目前非球面检测技术面临的问题进行了阐述,并给出了对深度非球面测量可用的方法和应当解决的问题.关键词:非球面;非球面测量技术;零位补测量;非零位补偿测量;计算全息干涉测量中图分类号:O174 文献标识码:A 文章编号:1672-0946(2005)03-0357-05Studyonasphericsurfaceandasphericmeasurement12QIAOYu2jing,LVNing(1SchoolofMechanical&PowerEngineering,Harbi
3、nUniversityofScienceandTechnology,Harbin150080,China;2SchoolofComputer&Control,HarbinUniversityofScienceandTechnology,Harbin150080,China)Abstract:Inordertohaveaefficientmethodfortestingasphericsurface,basingonasphericsu2facefinctionsandfeaturesofasph
4、ericoptic,thispaperstudiestheadvantageanddisadvantageoftestingmethodforasphericsurface,anddiscussestheproblemsthatisfacedwithtestingmethodofasphericofasphericsurfaceatpresent.Putsforwardtheadaptivetestingmethodandoughttosolveproblemsforthesteepaspher
5、icsurface.Keywords:asphericsurface;aspherictestingmethod;nullmeasurement;non2nullmeasure2ment;computer2generatedholograminterferometry 所谓非球面光学元件,是指面形由多项高次方能有一个行之有效的测量方法.如:远紫外区投影程决定、面形上各点的半径均不相同的光学元件.光刻机,需要所有的光学元件都是反射的,但没有非球面镜属于特殊表面,它具有许多独特的性质.任何反射材料
6、能够被应用在小于100nm的波段如二次曲面在恰当的共轭位置没有球差,将非球面内,反射系统如果严格地满足成像要求,就需要许用于光学系统中,能够减少系统中光学元件的数量多空间紧密连接的光学元件,而这种想法在反射光或能提高成像质量.随着光学精密加工的发展,非学系统中是不能实现的,因为多重镜面会彼此制约球面越来越广泛地应用于各种光学系统中,如:高并产生各种缺陷.这就使设计人员不得不设计表面品质的照相机、摄像机、各种光学测量仪器、扫描仪形状更加复杂的非球面,即偏离量更大的非对称非等.尤其是天文领域,大型的
7、天文望远镜主要是由球面.但是,用现有的干涉方法检测偶次薄非球面非球面镜构成.非球面的应用所遇到的困难主要都不容易.因此,非球面的检测技术是制约非球面是,非球面的加工,现代光学加工技术的发展,可以发展的主要因素.文章的下面部分从非球面的面形加工出高品质的非球面镜.尽管目前发展出多种非描述和光学性质出发,对各种非球面检测技术进行球面的检测技术,但对于某些形式的非球面仍然不总结说明,并进行优缺点的对比.收稿日期:2004-12-27.基金项目:哈尔滨市青年科学研究基金资助项目,项目编号:2004AFQ
8、XJ050.作者简介:乔玉晶(1972-),女,讲师,在读博士,研究方向:测量技术.·358·哈尔滨商业大学学报(自然科学版) 第21卷之,几何焦点F1和F2是一对光学共轭无象差点,1 非球面的面形描述及光学性质即光线以任何角度入射在该反射面上都不产生象111 非球面的面形描述差.这个性质既应用于复杂的反射系统,也用于最非球面的基本面形是二次曲面,二次曲面是旋简单的系统,同时也用于非球面质量的无象差点法转对称表面,偏离二次曲面的非球面称为高次非球检验.面.二次曲面的面形描
