激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究

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1、激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究xxx课题研究的背景和意义玻璃衬底ITO上低成本制备低温多晶硅LTPS等离子增强气相沉积PECVD制备非晶硅薄膜准分子激光晶化ELC非晶硅a-Si薄膜为多晶硅poly-Si薄膜制备有源显示器件AMLCD和AMOLED的薄膜晶体管TFT沟道通过激光晶化非晶硅薄膜制备具有多晶硅光学薄膜层结构的太阳能电池课题研究的现状及发展趋势2008年S.R.P.Silva等人，通过激光晶化非晶硅PIN结构的n层为纳米晶硅作为电池光学薄膜，首次报道最高转换效率为2.5%2009年C.C.Kuo，通过在线光学测试，成功利用激光晶化来控制晶粒大小，调

2、节薄膜光通过率和反射率通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节光透过率、反射率和电池转换效率课题研究的内容及目标通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节光透过率、反射率和电池转换效率应用于激光诱导晶化非晶硅薄膜太阳能汽车玻璃，具有可见光透过、防紫外光的功效，还可以为蓄电池充电不同硅基材料光电性能比较多晶硅poly-Si微晶硅uc-Si非晶硅a-Si单晶硅sc-Si纳晶硅nc-Si禁带宽度ev1.21.2~1.71.71.122.3电子迁移率cm2/V*s10e210e110e010e310e2转换效率18%

3、mitsubishi/15%sanyo20%Kyocera/激光能量熔融a-Si薄膜相变潜热固态非晶硅液态非晶硅固液混合硅密度g/cm32.202.532.33比热容C(T)J/g*KC(T)=0.952+0.171*T/1685热传导K(T)W/cm*KK(T)=4.828*10e-11*(T-900)e3+4.828*10e-9*(T-900)e2+3.714*10e-6*(T-900)+3.714*10e-2熔融潜热激光能量熔融a-Si薄膜深度模拟曲线蝇眼整形激光光斑能量分布模拟蝇眼整形激光晶化晶粒金相显微图AFM表征的晶粒与晶界分布图不同激光功率下的晶粒大小变化

4、常温下不同激光能量对应的霍尔电子迁移率和电阻率激光晶化PIN太阳能器件I-V曲线PIN纳米晶光学薄膜能带结构图预计的研究难点研究三种相互关系：统计不同激光功率与晶粒大小变化关系，经过Seco腐蚀液腐蚀多晶硅表面SEM图光透过率和反射率变化与晶粒大小的关系太阳能电池转换效率与光透过率和反射率的变化关系创新点首次通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节光透过率、反射率和电池转换效率。应用于激光诱导晶化非晶硅薄膜太阳能汽车玻璃，具有可见光透过、防紫外光的功效，还可以为蓄电池充电进度计划2010.1查找文献2010.2-2010.3熟悉设备，制定

5、实验方案2010.4-2010.6控制工艺参数沉积薄膜2010.7-2010.10器件测试并撰写小论文2010.11-2011.1总结实验数据撰写毕业大论文谢谢！Thankyou!