资源描述：
《硅片平整度知识介绍》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、硅片平整度知识讨论IQC2006-4-20硅片平整度知识讨论主要内容如下：1、硅片平整度定义；2、硅片平整度测量；3、硅片平整度规范4、硅片使用中异常举例平整度SEMI标准关键字注释习惯用语SEMI标准用语新SEMI标准关键字注释TTVGBIRGlobalflatnessbackidealrangeTIRGFLRGlobalflatnessfrontleast-squaresrangeSTIRSFQRSiteflatnessfrontleast-squaresrangeLTVSBIRSiteflatnessbackidealrangeFPDGFLDGF3DGlo
2、balflatnessfrontleast-squaresdeviationGlobalflatnessfront3pointdeviationTTV(TotalThicknessVariation)定义：TTV=a–b(SEMI标准中为GBIR)说明：1.参考平面B为Wafer背面TIR(TotalIndicatorReading)定义：TIR=
3、a
4、+
5、b
6、(SEMI标准中为GFLR)说明：1.参考平面(bf)G为距上表面所有点截距之和最小的平面；FPD(FocalPlaneDeviation)定义：FPD=±Max(
7、a
8、,
9、b
10、)(SEMI标准中为GFL
11、D)说明：1.如果
12、a
13、>
14、b
15、，则FPD取正值；反之取负值；2.参考平面G(bf)为距Wafer上表面所有点截距之和最小的平面；Warp定义：Warp=
16、a
17、+
18、b
19、说明：1.参考平面M为距曲面Medianplane所有点截距之和最小的平面；2.不考虑重力影响；Bow定义：Bow=1/2*(b-f)说明：1.参考平面W以Wafer上三点确定，此三点组成一等边三角形2.凸的WaferBow值为正，凹的WaferBow值为负；3mm120°120°LTV(LocalThicknessVariation)定义：LTVi=ai–bii=1,2,3,4,...,n(SE
20、MI标准中为SBIR)说明：1.参考平面B为Wafer背面；2.LTVmax=Max(LTV1,LTV2,...,LTVn)STIR(SiteTotalIndicatorReading)定义：STIRi=
21、ai
22、+
23、bi
24、i=1,2,3,4,...,n(SEMI标准中为SFLR)说明：1.参考平面Gi通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bfG；2.G为距单元块上每一点截距最小的平面；3.STIRmax=Max(STIR1,STIR2,...,STIRn)；STIR/L-Site(SiteTotalIndicatorReading)定义：STIR
25、i/L=
26、ai
27、+
28、bi
29、i=1,2,3,4,...,n(SEMI标准中为SFQR)说明：1.参考平面bfGi为距单元块上每一点截距最小的平面；2.STIRi/Lmax=Max(STIR1/L,STIR2/L,...,STIRn/L)；SFPD/L-Site定义：SFPDi/L=±Max(
30、ai
31、,
32、bi
33、)i=1,2,3,4,...,n(SEMI标准中为SFQD)说明：1.
34、a
35、>
36、b
37、,取正值；
38、a
39、<
40、b
41、,取负值；2.参考平面bfLi为距单元块上每一点截距最小的平面；3.SFPD/Lmax=Max(SFPD1/L,SFPD2/L,...,SFPDn/L)
42、SFPD/G-Site定义：SFPDi/G=±Max(
43、ai
44、,
45、bi
46、)i=1,2,3,4,...,n(SEMI标准中为SFLD)说明：1.
47、a
48、>
49、b
50、,取正值；
51、a
52、<
53、b
54、,取负值；2.参考平面Gi通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bfG；3.SFPD/Gmax=Max(SFPD1/G,SFPD2/G,...,SFPDn/G)SEMIStandardFQAMeasurement MethodReference SurfaceReference PlaneandAreaReference PlaneandAreaReference Su
55、rfaceSiteSize and ArrayParameterParameterGBIRGF3RGF3DGFLRGFLDSF3RSF3DSFLRSFLDSFQRSFQDSBIRSBIDRangeRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationParameterParameterParameterParameterParameterReference PlaneandAreaReference PlaneandAreaS-TIRS-FPDS-T
56、IRS-FPDS-TIR
