洁净室设计培训教程张利群

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1、洁净室设计培训教程张利群二OO九年三月洁净室设计1.洁净室基础知识1.1洁净室的定义1.2洁净室的四大技术要素1.3洁净室的分类1.3.1按洁净室气流流型洁净室的分类1.3.2按洁净室主要的控制对象洁净室的分类1.4洁净室洁净度的等级标准（ISO14644-1）2.洁净室的消防、节能和环保2.1洁净室的消防2.1.1洁净室的建筑消防2.1.2洁净室的水消防2.1.3洁净室的电气消防2.1.4洁净室的防排烟2.2洁净室的节能2.2.1洁净室的空调负荷2.2.2洁净室的空调负荷特点2.2.3洁净室净化空调系统的节能措施2.3洁净室的环保工程2.3.1洁净室的废水处理2.

2、3.2洁净室的废气处理3洁净室设计（案例）3.1洁净室净化空调设计的程序步骤3.1.1设计前的准备工作及应收集的数据和资料3.1.2工艺平面和建筑平面的规划3.1.3净化空调系统和排风系统的划分原则3.1.4洁净室的负荷计算（热湿、风量、水力三大平衡计算）3.1.5七个典型的空气处理系统即空气处理过程的优化3.1.6洁净室净化空调系统的冷、热源3.1.7空调和净化设备选择3.1.8施工图的绘制3.1.9施工现场的工地工作3.1.10洁净室竣工验收调试和测试3.2三个净化工程的典型案例3.2.1大面积ISO6级顶送顶回非单向流洁净室的工程案例3.2.2深圳清溢精密光电

3、有限公司的ISO2级洁净室工程案例3.2.3北京航天光学遥感特殊高大实验室矢流洁净室的设计1.洁净室的基础知识1.1洁净室的定义洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控（ISO14644-6）。1.2洁净室的四大技术要素洁净室的四大技术要素是一、送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高效），并且高效过滤器应设置在系统的末端。二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。三、洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负压梯度）。四、洁净室应有合理的气流组织。1.3洁净室的分类

4、1.3.1按气流流型洁净室的分类按气流流型洁净室可划分为：▲单向流洁净室▲非单向流洁净室▲混合流洁净室▲矢流洁净室一、单向流洁净室1、单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。图1单向流气流流型2、单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。垂直单向流是气流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高，工程中尽量将其面积压缩到最小，用到必须用的部位。水平单向流是气

5、流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。二、非单向流洁净室1、非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。图2非单向流气流流型2、非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。三、混合流洁净室图3混合流气流流型混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积

6、压缩到最小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。四、矢流（对角流）洁净室▲用上侧圆弧型高效过滤器风口送风，对侧下回风口回风的气流流型。图4矢流气流流型矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出，流线之间没有竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室中。在某些特殊的实验室中也得到广泛的应用。五、各种气流流型洁净室的风量、冷量、初投资和运行费的比较（仅供参考）不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标气流流型洁净级别（级）送风量（m/s）(次/h）耗冷指标（W/m2）投资指标（元/m2）耗电指标（Kw/

7、m2）单向流垂直10100>0.25m/s1300~150010000~130001.25~1.35水平100>0.3m/s800~10005000~60000.9~1.0非单向流100050~60次/h600~7002800~30000.25~0.331000025~30次/h500~6002000~22000.22~0.2610000015~20次/h350~4001400~16000.13~0.16注：表中的送风量、单向流以断面风速表示，非单向流以换气次数表示。表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。表中的初投资包括洁净厂房的围护、冷冻供应系统、空调净化系统，