镀膜机电子枪原理与维护

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1、机电一体化Meehatronies2003年第5期进口镀膜设备电子枪高压电源EB-8的原理及故障诊断TheRepaireofEB一8ofImportedLLE一2500Evaporator陈光文姜杰赵曙建王海宁王春育(昆明物理研究所，昆明650223)摘要:通过对进n非标设备11.1:一2500数控镀膜机电子枪高压电源EB一8的原理及故障诊断维修经验的简述，希望对进口设备的维修工作有借鉴作用关键词:进日设备维修电子吏高压申tl}Abstract;Introdueedthetheoryofelectronbeampowersupply(EB一8)ofimported]1,1

2、￡一2500evaporatorReviewedtheexperiencxoffailurediagnoseandrepair,hopeditbehelpfulformaintainandmendofimportedequipment.Keywords;importedequipmentmaintainandmendelectronbeampowersupply0维修背景4)用]飞电子束扫描的交流低压我所引进的LLE-2500型数控镀膜设备是高压电源由控制线’。主控拒相连，使得从主20世纪90年代由美国1NNOTEC公司制造的非控拒控制而板上即可编程控制。高压电源还与整标

3、设备。该设备在2002年9月底突然故障停机的水冷、气动、真空室气压、高压柜内冷却气流、机。由于美国INNOTEC公司已经倒闭，其原有钳锅位置等形成互锁图1为高压电源原理在华代理也转投其他公司，设备维修韦宜求告框图无门其间，种清其他外国镀膜设备公司的人从图1中可以看出,EB-8与其他公司如德员前来查诊，皆因系统复杂无果而返。设备瘫国莱宁公司的高压电源有所不同。其对高压输出痪直接影响到我所的科研牛产的正常进行，我的调节控制是在高压变压器的初级，即在低压输们只有.自行修理。人端由初级电源控制(PPC)来进行的。调节好的1设备原理及故障现象低压输人经高压变I+器升压后，经整流滤波

4、后直LIE一2500蒸镀设备配有离子源,E型电子接输出高达IOkVDC的直流高压枪，通过其控制面板可对镀膜过程进行编程和实初级电源控制(PPC)的核心，是享有美国专时控制.有非常完善的互锁保护功能，是易操作、利的电流电源控制模块(CSC)，而CSC又由高压自动保护功能全备的高度自动化镀膜系统其E逻辑电路(IIVI,)控制}9电f枪所用高压电源，是INNOTEC公司制造的高压逻辑电路(HVL)承担着控制CSC和监LB-8型，功率15kW，输人为380V二相交流电，控高压输出的任务。它与电子枪控制还有关联有4路电源输出给电子枪:当主控柜控制面板上选择了“高压打开”，且其他1)

5、用于电子束加速的直流高压(2kV一必要条件均满足时，高压接触器闭合，同时给出信lOkV);号到HVL，由IIVL控制CSC调节电压输人2)用于灯丝加热的交流低压;电流电源控制模块(CSC)由3组成对的可控3)用于调整电子束位置的直流低压;硅、可控硅导通控制模块、能量吸收电路、软启动万方数据进u镀膜设备电子枪高压电源EB一S的原理及故障诊断输入高压接触器高压变压器图1高压电源原理枢图触发电路等部分组成。书相交流输人的每一相，量吸收。同时，灯丝电源也降低到比发生电弧前都通过一对可控硅接人变压器初级，由导通控制稍低一点的水平。一旦电弧能量降为零，PPC会模块来控制可控硅的依次导

6、通时问和导通角.从再次接通而调节输人能量的大小。软启动电路是为了防止灯44过热或频繁通断能量吸收电路是为了防止高压电弧造成的损而造成的损坏。当电源接通后，灯丝电压是由坏而设计的。电子枪或真空系统组件的表面出气SCR启动电路控制缓慢上升的。当发生电弧后或表而不规整等原因，特别是最初启动时，会造成或类似的电压突然降低的情况时，高压电路里的随机的重复性的高压电弧卜这些电弧可能不易察传感器会告知HVL,减少灯丝电压。因为当灯丝觉，但它们对设各和工艺都是有害和危险的。当处上发射状态，而高压断开时，大量的电子不能被电弧现象一发生，高压电路里的传感器会立刻感正常地加速发射出去，从而造成

7、灯丝过热而引起应到其迅速上升的能量，并通知HVL关断PPC，损坏。软启动电路使灯44电压在高压消失时维持使输人电压降为零，并由能量吸引网络将这一能一个刚要发射的临界水平，而不是完全断开，从而万方数据机电一体化Mechatmnics2003年第5期避免r由于高压的通断造成灯丝的全程温度循环的结果矛盾。因为当时的示波器无法直接测量冲击。380VAC，后来借用1台二相调压器，把380VAC由图1中还可以看到，电子束位置也与高压降到20VAC后，才通过示波器发现，高压变压器控制有关。当电子束位置控制电路探测到3种错初级电压不为零，而是