真空技术专栏讲座

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1、真空技术专栏讲座0第一讲：真空科学的发展及应用日1、真空的含义及特点日2、真空科学的应用领域日3、真空科学发展前景展望日第二讲：真空物理基础田第三讲：机械真空泵日-、机械真空泵的分类及主要性能参量日：、往复式真空泵日三、水环式真空泵日四、油封式旋转机械宾空泵日五、罗茨克空泵日六、分子真空泵日七、无油干式机械真空泵田第四讲：蒸汽流真空泵日一、水蒸汽喷射泵日二、汕扩散泵E1二、油增压泵（油扩散喷射泵）田第五讲：气体捕集式真空泵日一、引言日二、分子筛吸附泵日三、钛升华泵日四、溅射离子泵日五、低温泵田第六讲：真空测量日一、概述日二、全圧力测戢日厂、分压力测量日四、真

2、空计校准田第七讲：真空检漏日一、概述日二、检漏仪器E1二、检漏技术日四、标准漏孔田第八讲：真空系统设计日一、真空系统的组成E1二、克空技术基本方程日厂、气体流动状态的判别日四、流导的计算日五、抽气时间的计算日六、真空系统的设汁田第九讲：克空系统组成元件曰一、真空阀门（1.概述）日•、真空阀门（2.儿种典型结构）日-、真空阀门（3.真空阀门的设计）日二、捕集器（1.挡油帽）日二、捕集器（2.机械捕集器）日二、捕集器（3.冷凝捕集器）日二、捕集器（4.吸附捕集器）E1二、捕集器（5.其它捕集器）日二、捕集器（6.捕集器的流导）田第十讲：真空密封曰一.概述日二.永

3、久密封连接日三.可拆密封连接E）四•动密封连接田第十一讲:真空材料一1.真空材料的种类日2.真空材料的性能与选材基本原则□3.金属材料□1.塑料日5.碳（石墨）及碳纤维制品□6.其它真空材料田第十二讲:真空工艺□1真空材料的清洗日2真空材料的除气日第十三讲：克空系统的检测技术第三讲：机械真空泵［简介］:真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类己发展了很多种，其抽速从每秒零点儿升到每秒儿十万、数百万升。极限压力（

4、极限真空）从粗真空到10',2Pa以上的超高真空范围。［思心排气泵iI1全引分味疥f満轮分子泵II亟窑泵丄厂否纭1「1議式」丽閘I薇环式］「夕茨式」I爪形转子式一、机械真空泵的分类及主要性能参量「定片式1［旋片农］「逍沁］爪塑罗茨配合式］團2往复泵工作原理图卜气雄2-活銮mill柄连杆机钩4-排花阂5-吸气體IS3水FRTmJRSlSz~n于：j—ik体环■4一进5—h忡snG-HW孔$；—禅气管8A¥C管』一挣气帕】o-水箱：门一管迫fiz-ttttW一、机械真空泵的分类及主要性能参量（一）机械真空泵的分类真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持

5、真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随弄真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点儿升到每秒儿十万、数帀万升。极限圧力（极限真空）从粗莫空到10-,2Pa以上的超高真空范围。由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。凡是利用机械运动（转动或滑动）以获得

6、真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：1.变容真空泵它是利用泵腔容积的周期变化來完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。（1）往复式克空泵利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、圧缩并排出。又称为活塞式真空泵。（2）旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致冇如下几种分类：1）汕封式真空泵它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内冇害空间的i种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真

7、空泵等。2）液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水坏式真空泵或油环式真空泵。3）干式真空泵它是一种泵内不用油类（或液体）密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。4）罗茨真空泵泵内装冇两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。1.动量传输泵它依靠高速旋转的叶片或高速射

8、流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵