冯春 不同底层agticupt对fept多层膜磁性的影响

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1、第-?卷第5期稀有金属-//5年,/月MPQ.-?R.5%KSTUEUD=VWT!3=)W!WUIU#!3E=B(.-//5###############################################################不同底层（!"，#$，%&，’(）对［)*+’(］多层膜磁性的影响!!冯春,，李宝河,，-，滕蛟,，于广华,"（,.北京科技大学材料物理系，北京,///01；-.北京工商大学数理部，北京,///12）摘要：利用磁控溅射的方法，在热玻璃基片上制备了［)*+’(］!多层膜，经不同温度真空热处理后，得到

2、3,/有序结构的)*’(薄膜（3,/4)*’(）。实验结果表明：［)*+’(］!多层膜结构可使)*’(薄膜的有序化温度由5//6降到15/6，15/6退火-/7$8后其平行膜面矫顽力可达到9-,.0;,。同时以!"，#$，%&和’(做底层，利用［)*+’(］多层膜结构制备了)*’(薄膜，磁性和<射线衍射结果表明：与［)*+’(］多层膜相比，:!·7!!四种底层均没有进一步降低)*’(薄膜的有序化温度，其中!"做底层对［)*+’(］!多层膜退火后的平行膜面矫顽力影响较小，但能够提高其垂直磁各向异性；其他底层均会降低［)*+’(］!多层膜在高温退

3、火时的平行膜面矫顽力，且对其垂直磁各向异性无改善作用。关键词：3,/4)*’(薄膜；有序化温度；底层；多层膜结构中图分类号：=9>?文献标识码：!文章编号：/-50;2/2（>-//5）/5;/25-;/5近,/年来，信息存储技术尤其是磁记录技术的方法制备)*’(%&合金薄膜的有序化温度可降到得到了飞速的发展，硬盘的面记录密度也大幅度［2］研究发现，以!"底层和’(插层可1//6。KH&等提高。目前实验室的硬盘纵向磁记录面密度已达以降低)*’(单层膜的有序化温度，%F*8等［0］研究到-1.-1@A·B7;-［,］，记录密度要进一步提高，必发

4、现以#$为底层可以细化)*’(晶粒。但到目前为须减小磁记录晶粒的尺寸。当磁记录面密度达到止，以!"，#$，%&和’(做底层，并利用［)*+’(］!多;-时，晶粒尺寸应小于587。此时由层膜结构制备薄膜的研究报道还很少见到。本文,50.2@A·B7于热稳定性的需要，磁记录材料必须具有更高的则以!"，#$，%&和’(做底层，并利用［)*+’(］!多磁晶各向异性才能克服由于超顺磁效应引起的热层膜结构制备薄膜，并发现与［)*+’(］!多层膜相退磁现象。3,>;1的比，四种底层均没有进一步降低)*’(薄膜的有序/4)*’(合金具有高达2C,/D·7单轴

5、磁晶各向异性能密度［-］，同时它还具有矫顽化温度，其中!"做底层对［)*+’(］!多层膜退火后力高、磁能级高和抗腐蚀能力强的特点，能够满足的平行膜面矫顽力影响较小，但能够提高其垂直超高密度磁记录对热稳定性的需要，成为下一代磁各向异性；其他底层均会降低［)*+’(］!多层膜在磁记录介质的首选材料。高温退火时的平行膜面矫顽力，且对其垂直磁各直接溅射得到的)*’(薄膜为无序的面心立方向异性无改善作用。结构（"##），是一种软磁相，必须通过基片加热或较,实验高温度（高于5//6）［1］的退火才能形成有序四方结构（"#$）的硬磁相，即)*’(43,/相

6、。但过高温度退所有薄膜样品均在LM45/-型磁控溅射仪中制备，其本底真空度为5C,/;5火会形成较大的)*’(晶粒和较粗糙的表面，不利’G。利用高纯的)*靶于提高磁记录密度。因此降低3,/4)*’(薄膜的有序（??N??O）、’(靶（??.??O）直流沉积制备)*’(单层化温度，改善其磁性是急待解决的问题。EF$7G膜和［)*+’(］,1多层膜，然后用高纯!"靶等［9］研究发现，利用［)*+’(］多层膜结构可以降低（??N??O）、#$靶（??.??O）和%&靶（??.??O）分别!)*’(单层膜的有序化温度，但矫顽力太低。#G:G4射频溅射

7、沉积以!"，#$，%&和’(为底层的［)*+FGHF$和IG*JG等［5，>］报道了采用)*’(和%&共溅射’(］,1多层膜。所有薄膜都沉积在清洗干净的玻璃基!收稿日期：-//5;/>;,/；修订日期：-//5;/0;-/基金项目：教育部博士点基金（-//1//0//1）和教育部科学技术研究重要项目（,/9/-1）资助作者简介：冯春（,?0,;），男，安徽安庆人，博士研究生万方数据"通讯联系人（U47G$Q："FX&Y7G(*Z.&H(A.*J&.B8）)期冯春等不同底层（,>，J%，EK，/8）对［567/8］!多层膜磁性的影响H)9!!!

8、!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!片上，溅射时基片以!"#·$%&’!的速率旋