多晶酸制绒添加剂对硅片绒面的影响探究

《多晶酸制绒添加剂对硅片绒面的影响探究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、多晶酸制绒添加剂对硅片绒面的影响探究摘要：将添加剂加入到HN03-HF制绒体系当中，目的是让硅片实现制绒的效果，硅片在制绒后，需要对表面形貌进行分析，并且将光学性能进行表征。对腐蚀深度的结果进行分析后发现，因为添加剂存在差异性，所以，其腐蚀速率作用也有着很大的不同；通过对硅片表面的反射率进行测试表明，对于制绒后的表面光学均匀性，通过添加剂能够对其起到极大的积极作用。在对添加剂组分配方进行优化的同时，保证制绒工艺条件不发生变化，让其腐蚀深度达到3.5-4.5hm,多晶硅片表面反射率达到20%-21%,这样才能让产线制绒效果得

2、到有效的提升。关键词：多晶酸制绒添加剂硅片绒面影响、八—一刖B随着社会的迅速发展，各个行业领域的进步是非常明显的，尤其是在太阳能电池方面的研究取得了很大的突破，市场上各种新型结构的电池不断的涌现，在多晶电池量产效率上不断的上升，目前已经达到19%以上。通常情况下，电池表现会由于反射的原因，造成光损伤现象的发生，从而给电池的转换效率带来极大的影响，如果借助表面织构化工艺，能够让太阳电池的表面反射率很大程度的降低。多晶硅片和单晶硅片相比，其有着自身的优势，多晶硅片其表面晶粒在取向方面存在很大的差异性，在行业当中，相关的企业通过

3、机械刻槽等技术，对多晶硅表面的织构进行了获取。然而，这些技术需要花费大量的成本，这是很多多晶硅电池生产厂家难以接受的，如果对酸性制绒液进行广泛的运用，能够让多晶硅表面形成的硅减反射层是多孔的。在工业当中，经常会使用的酸性制绒液一般为HF/HNO3/H2O的混合体系，虽然这种体系相对的比较简单，然而,其制绒效果非常不理想，而且很难适应超薄硅片。为了能够让多晶硅片的反射率很大程度的降低，需要对多晶硅太阳电池的效率进行有效的提高。一、试验在实际当中，多晶硅片化学腐蚀反应的具体原理为：给硅表面进行空穴的提供可以运用HNO3，很大程

4、度的对硅表面的Si-H键进行了突破，让Si氧化后变为SiO2,通过HF,将SiO2溶解，最后形成的络合物就是H2SiF6。这样的情况下，使得硅表面会出现各向同性并且不均匀性的腐蚀现象，硅层不仅粗糙，而且孔多，这样能够让光反射很大程度的减少，并且能够让光吸收能力得到增强，具体的反应式为：3Si+4HNO3+18HF=3H2SiF6+4N0+8H20。酸溶液在对硅片进行腐蚀的过程中，氧化剂HNO3会让硅氧化后形成SiO2,氧化后的硅表面，会出现SiO2膜，该SiO2膜尤其的致密，在溶液当中存在络合剂HF,它能够溶解SiO2膜，

5、最终形成H2SiF6络合物，它有着溶于水的特性。随着H2SiF6的生产，并且是不间断的，通过离解产生的H+浓度也在连续的上升，这会让腐蚀速度很大程度的加快。通过研究显示，一旦腐蚀液中加入的HN03非常的多，很容易形成化学抛光效果，对腐蚀坑的形成是非常不利的。HF太多，会造成反应速度非常的快，这使得微腐蚀坑难以形成。因此，在试验当中，对新型多晶制绒添加剂进行开发，能够让硅片腐蚀速度得到相应的控制，对硅片表面的形貌进行了有效的改善，更让反射率很大程度的降低[1-2]o（一）试剂与材料在试剂当中，有很多属于是沪试电子级（MOS）

6、药品，比如，HN03、HCI、HF、NaF、NaOH；这些药品当中有曲拉通x-100（CP沪试）、三乙醇胺（AR沪试）、聚乙二醇（CP沪试）、十二烷基苯磺酸钠（AR沪试）全氟聚醍（Alfa）等。一般试验中运用的约为50mmx50mm尺寸，电阻率的范围在0.5-3Q?cm。（二）试验过程对硅片的质量进行称量，已经称量好的硅片，可以将其在制绒卡槽中进行安插，安插时一定要小心；在聚四氟乙烯烧杯中，根据试验的配比，对制绒反应液进行合理的配置，其聚四氟乙烯烧杯应该选择量为500mL,在试验清洗的过程中，可以使用去离子水；将低温恒温水

7、冷设备打开，设置槽体的温度，范围在8°Co在配比基础反应液体时应该是HF(62mL):HNO3(196mL):H20(142mL),还需要水溶液，其中为有机表面活性剂配置质量分数1%o需要以产线工艺条件试验操作步骤为擁为下面的内容：对上述的试剂盒药品进行选择，通过配置，得出两种多晶制绒添加剂，一个为A,一个为B,然后对其进行多组和多次的试验。在反应液当中，添加剂A、添加剂B其体积浓度在0.5%，试验结席,应该对硅片腐蚀深度和表面反射率进行有效的测量[3]o二、结果与分析通过上述的基础反应液配比，对试验的工艺条件进行不同的？

8、O置，对HF/HNO3/H2O基础配方进行比较并且将添加了添加剂A.B后的多晶硅片试验结果也进行对比。对硅片绒面反射率，使用复享D8积分反射仪对其进行了测试，可以得出，反应基础酸溶液在两组闹的实验条件下，产生反射率，一个为24.7%,一个为24.3%,可以说,在两组实验当中，将添加剂A、B进行添加，都能