铜厚测量仪内校指引_电力水利_工程科技_专业资料

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1、一、目的:确保在使用的铜厚测量仪完好合格,保证测量的准确性。二、范围:在使用CMT700系列测量仪,初次使用或处置不用后重新启用。三、内容:铜厚测量仪主要是用来测量孔铜和面铜的厚度。厂内使用的CMT700系列产品是基材表面覆盖层厚度测量仪器,它是为精确测量不同基材上的各种涂镀层而设计的。如下图:主要按键说明:@@:软件界面选择键,显示屏在对应的位置显示功能,按键选择该功能;'辿:在操作过程中取消该操作并返回到前次操作界面;@:进入现有程序的再校准菜单;@:消除本次输入或在测量界而下清除最后一个读数;0:清除前一个

2、字符,使光标回到上次字符位;Q:凹车键,保存当前输入或接受当前选择;在测量清单界而下按两次进入所选程序的测量界面;{g:在手动测量模式下按此键进行一次测量,在扫描模式下把最后一J个读数读入仪器内。在程序清单界面下按此键可以进入测量模式。3.1、检定条件:室内温度20±5°C;空气相对湿度W85%R.H。保证无显著振动或强磁场干扰。3.2、检定顶目:检定项目检测方法检定类型新制的使用中修理后外观目视观察+++各部分相互作用n视观察和手动试验+—+示值误差用标准溶液标定+++注:表中“+”表示应检定;”表示可不检定。

3、3.2.1、外观:铜厚测量仪的各配件齐全;外表整洁,且无刮擦痕迹;显示屏完好;各功能按键完好清晰。3.2.2,各部分相互作用:各按钮功能稳定,工作可靠。其中,显示屏所显数字应清晰、完整、无黑斑或闪跳现象。3.2.3.校正方法:①:ETP探头的校准:在主面面下,按SETUP键,进入安装界面;按CAL&TURNTNG键,进入校准界面;〜按CALETP键,进行ETP探头校准;把探头放于空气中,按键;选择校准时测量标准片的次数,然后把探头放在标准片上,按键。选择单位;输入标准片孔铜的厚度,搂E)确认。校准完毕,按,返回到

4、主页面。②:SRP探头的校准:'在测量界面下按0进入校准界面;在校准界面下按显示屏幕所示的STD1键,进行笫一块标准片校准,把探头放于第一块标准片上,緘E),输入第一块标准片铜箱的厚度,按&)确定;每一块校准完成后,按屏幕所示的STD2键,进入笫二块标准片校准,把探丈放于第二块标准片上,按(R键,输入第二块标准铜箔厚度,按确定。第二块标准片校准完成后,按屏幕所示DONE完成校准。③注意事项:SRP探头可测量不同线宽的铜箔厚度。但需要测量某线宽的铜箔时,必须用相同线宽的标准片进行校准,否则会出现很人的误差。④CMI

5、700系列产品自带的标准孔铜规格:A、面铜厚62m订(1574pm),孔内壁铜厚1.5mil(38.4um)B、CMI700系列产品自带的标准面铜规格:标准片1CF-47570.06mil(17.Oum)标准片2CF-41722.63mil(66.8um)3.3示值误差:校准完毕后,开始测量。分别测量若干已知值的孔铜和面铜厚度,记录示值,并记算误差,误差值不超过±2uni。3.4检定结果处理:检定合格,填写《仪器校正报告》;检定不合格,则填写《量规仪器报废记录表》,交主管审核,记录保存1年。4检定周期:视使用情况

6、而定,一般周期为一年。5记录:《仪器校正报告》《量规仪器报废记录表》

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