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《硅压阻式压力传感器温度误差补偿系统的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。
1、摘要压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器，具有灵敏度高,动态响应快，测量精度高，稳定性好，工作温度范围宽，易于小型与微型化，便于批量生产与使用方便等特点。因此，它是一种发展迅速，应用广泛的新型传感器。压阻式压力传感器的一个主要问题是温度补偿问题，由于温度会对传感器的灵敏度及测量精度产生很大的影响，在相当程度上限制了压阻式压力传感器的使用，对传感器进行温度补偿显的尤为重要。论文中介绍了国内外研究现状，课题的背景及意义，同时介绍了现代信号调理技术的发展。应用信号调理芯片是现代常用的一种补偿方法。本论文应用智
2、能化的模拟一数字混合信号调理技术，采用MAX1457,开发出了一整套温度补偿系统，经调理后的传感器综合误差不超过0.1%。MAX1457是一种专用传感器信号调理芯片。此芯片集成化程度较高，可以补偿硅压阻式压力传感器的温度误差和非线性误差。论文首先介绍了MAX1457芯片的结构、分析了芯片的设计思路，在结合压力传感黠自身特点的基础上，深入分析了补偿思想，分析了能够实现高精度补偿的原因，设计了补偿模块以及的硕件电路及软件的核心代码。【关键词】压阻式传感器温度补偿信号调理MAX1457AbstractPiezoresistive
3、pressuresensor,bemadeofsemiconductorsiliconbasedonpiezoresistivephenomenon,hasmanycharacteristicsofhighsensitivity,quickresponse,highmeasurementprecision,goodstability,wideworkingtemperaturerangeandbeingminiaturizedandproducedeasily.Itisanewtypesensordevelopedquic
4、klyandusedwidely.Piezoresistivepressuresensoralwaysfacesanimportantproblemoftemperaturecompensationwhichrestrictsitsapplicationsbecauseoftemperatureinfluenceonsensor^ssensitivityandmeasurementprecisioflTherefore,itisasignificantprojecttoresearchtemperaturecompensa
5、tionforpiezoresistivepressuresensor.Firstofall,stateofartsonthistopicisreviewed.Somecompensationmethodsareanalyzedandtheirprinciplesarethensummarized.Thetechnologyaboutmodernsignalconditioningwhichwillbeusedinthispaperisalsointroduced.Signalconditioningchipisincom
6、monusedforcompensationinrecentyears.Inourresearch,asetofsiliconpiezoresistivesensortemperaturecompensatingsystembasedonMAX1457isproposed.Thetotalerrorislimitedto0.1%FSafterbeingcalibrated.MAX1457isaspecialsensorsignalconditioningchipwithhighintegration.Itismainlyu
7、sedtocompensatetemperatureshiftandnon-linearityerrorofpiezoresistivepressuresensor.Inthispaper,thestructureofMAX1457isintroducedandrelevantmathformulaisdeducedfirstly.Then,theideaofcompensationdesignisanalyzeddeeplybasedonthecharacterofpressuresensor.Finally,asing
8、le-channelcompensatemoduleisdesigned,thusamulti-channelsensortemperaturecompensatingsystemisdevelopedsuccessfully.Thedesignscheme,circuitandsoftwarecode
