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1、東莞聯橋電子有限公司無塵室之概念與管理目錄一.什麼是無塵室(CLEANROOM)1.無塵室(潔凈室)2.無塵室等級之區分與美國聯邦209簡介3.無塵室之設計與施工概念4.淺談過瀘器5.無塵室之驗收二.無塵室人員與物品之進出管理與清潔1.材料之進出2.人員之進出3.無塵室之清潔三.無塵衣1.無塵衣的必要性2.無塵衣的質料要求特性3.無塵衣的縫制4.無塵衣的清潔管理一.什麼是無塵室(潔淨室)1.無塵室:用最簡單之方法解釋,乃是一個房間或工作區其域,其內部空氣中之落塵(PARTICLE)用人為之控制,使其數量能在一
2、定數目中可稱為無塵室.2.無塵室等級區分與美國聯邦209簡介:由於科技羳日新進步,對於精密電子工業,制藥工業,食品工業,光學工業,太空工業,核能工業等,為了能突破其範圍,對於其生產研究之周邊環境亦相對要求更苛,其目的乃是不希望空氣中的塵埃影響產品之精密.如:電子業之半導體晶圓,在其生產過程更是在意任何一點落塵之影響,因為將導至其不良品率之增加.但因業界不同對於無塵室之要求也不同,固須以一個標準規格來區分,以避免誤用.今天市面所用之規格大部分皆以田美國聯邦209為規範,今在此做簡單介紹.美國在1963年前並無一
3、套標準規格,此時政府的民間皆作自己之規範,后來以由政府的產業界之合作,在1963年定出了第一套F.S209規格,其中間因科技進步,其過程為1966年訂209A.在1973年4月改定209B,又在1976年5月修改209B之補充,持續一段時間在1987年發表209C,次年6月發表209D,至今已達到209E之修定規格.F.S.209之規格,針對其落塵量有分為幾個等級:CLASS0.1um0.2um0.3um0.5um5.0um1357.53110350753010100300100100010007100001
4、000070100000100000700上圖為每單位立方尺之粒子數值由以上可概知,F.S.209之等級區別是以CLASS:1,10,100,1000,10000,100000,做為等級之區別,其數字代表無塵室在測試時,大於0.5um的落塵不得超此數值,但這只是表面直接之數值,對於更詳細之規定,可參考下列圖表.CLASS100,000CLASS10,000CLASS1,000CLASS100CLASS10CLASS1橫軸粒徑以上之每單位方方呎粒子數之上限值＊FIGURE1.CLASSLIMITSINPARTI
5、CLESPERCUBICFOOTOFSIZEFQUALTOORGREATERTHANPARTICILESIZESSHOWN*3.無塵室之設計與施工概念無塵室因業界需求不同，所其以其等級也有所不同，最主要分為CLASS1,10,100使用之亂流式．層流指其空氣由上方天花板全總部吹出再由高架地板風回風，氣流由止上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間內帶走．其優點：１．效果完全．２．若在作業善中影響較小．３．運轉后迅速可達到所需之落塵控制量．４．管理容易．其缺點：１．設備費用高．（維護費用高）２．換過濾網較麻
6、煩．垂直層流式無塵室略圖亂流式無塵室其一般要求沒有層流式無塵室之嚴聚，由局部出風口入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風。其優點:1.設備費用低，維護費用低。2.往后需擴充較方便。3.若再配合無塵操作台或亭(CLEANBENCHORBOOTH)則可確保局部高潔度。缺點:1.因為亂流容易產生死角所以污染粒子可能在內部循環。2.運轉后要達所需之清淨度，需一段時間方可達到。3.人員與機械的配置必須注意配合。出風出風回風回風HEPA亂流式無塵室略圖在冷氣空調箱加裝過濾器是必這過程，但同樣為亂流式在CLASS100
7、0和10000需做末端過濾，CLASS100000可作為集中過濾。中效率濾網出風口回風外氣冷卻盤管電熱器HEPA中效率濾網初級濾網風車(集中過濾空調簡圖)回風外氣冷卻盤管電熱器中效率濾網初級濾網風車高效率過濾網HEPA(末端過濾空調簡圖)其它在建材之選擇也相當重要，不論在天花板、地板、隔間板、燈具等考慮范圍。另外對于氣密性。發塵性、清潔性、耐用性、防火性等亦相當重要。尤其是高效率過濾網箱更應該注意，因為高效率過濾網箱若無完全氣密，則空氣未經過濾網即送入室內，則無塵室之效率將大打折扣。4.淺談過濾器今天能做到無
8、塵室(CLEANROOM)甚而訂下某些規范，其實最大的功勞應算過濾器之精密度能提高﹔而CLEANROOM最主要也是靠過濾器來使空氣潔淨送入室內，再將污染之空氣迅速帶走。 今天使用之過濾器依不同等級和需求可分為几種。 (1)前置過濾器：有初級過濾網(PREFILTER)與中效過濾網(MEDFILTER)。其主要過濾較大之塵埃，保護延長商效過率網之壽命。 (2)商效率過濾網(HEPAFILTER)：其效
