KOH膜剥离作业指导票

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1、KOH膜剥离作业指导票上海申和热磁电子有限公司受控状态实施日期2002/03/01适用半导体洗净受控实施责任者洗净事业部部长1.适用木作业指导票适用于上海申和热磁电子有限公司洗净事业部洗净再生部品AL膜用KOH溶液除去的作业。2.日录页码■■■■■■■■■■■■■■WW••■■WWWW••■■••WWWW■■■■■■••••••••••■■■•••■■■.••■■①用KOH剥离膜作业概要2②液洗室的配置2■•OMBB•■■■•■■MB•■■■»•••■»•••■■■»■•■»•■■»•••■■■»•■■»

2、••■»•■OMBB••■■••«■■••■■■»•・MB••■■■■■■■»•■③使用的設備■装置2④使用的薬品3⑤処理工程3⑥作业步骤3〜8⑦资料8注：本文件更改，应冇建议者提出申请，经批准后方可变更作成审核批准承认变更内容：文件编号版本号总1页S/QW51CL750-02A/2第1页KOH膜剥离作业指导票上海申和热磁电子有限公司受控状态实施日期2002/03/01适用半导体洗净受控实施责任者洗净事业部部长①用KOH剥离膜作业概要木作业是对SUS、Ti母材上付着的AL膜用KOH进行化学反应将膜剥离。②

3、使用的设备・装置・淋湿塔・碱淋湿塔・KOH槽・水洗槽（1）（2）・酸洗槽⑵・冲洗槽（2）・T燥炉保护具保护眼镜防毒口罩乳胶手套耐酸用橡胶手套围裙橡胶长靴排气装置注：木文件更改，应冇建议者提出申请，经批准后方可变更作成审核批准承认变更内容：文件编号版木号总页S/QW51CL75001-2A/2第2页KOH膜剥离作业指导票上海申和热磁电子有限公司受控状态实施日期2002/03/01适用半导体洗净受控实施责任者洗净事业部部长③使用的药品药品名规格保管场所氢氧化钾（KOH）85%药品仓库硝酸（HNO3）浓度：67

4、.5%药品仓库氢氟酸（HF）浓度：55.0%药品仓库④処理工程KOH浸泡冲洗冲洗干燥硝氟酸浸泡④作业步骤1.工程表的确认（1）确认等待液洗品放置处的工程表。確認項目洗净再牛:部品的母材为SUS或Ti,膜为AL。部品数量和社内用部品LIST上数量一致及纳期。2.淋湿塔及换气扇的起动（1）打开酸淋湿塔及碱淋湿塔的风扇及泵的开关。【注意事项】・在打开淋湿塔开关Z前，将KOH槽前门3〜5cm。・当前门在关闭时，槽内产牛负压，门会打不开。此时将漁湿塔的开关关闭后,再将门打开。2.保护具的使用・保护眼镜・防毒口罩・乳

5、胶手套・耐酸用橡胶手套・围裙・橡胶长靴【液洗保护具的使用】注：木文件更改，应有建议者提出申请，经批准后方可变更作成审核批准承认变更内容：文件编号版本号总1页S/QW51CL75001-02A/0第3页KOH膜剥离作业指导票上海申和热磁电子有限公司受控状态实施日期2002/03/01适用半导体洗净受控实施责任者洗净事业部长【手套破损的确认】【注意事项】・耐酸用橡胶手套，在使用前一定要确认没有破损。•按照下而的照片，向手套内注入压缩空气，然后放入水中，确认没有气泡产生。【注意事项】•确认已经破损的手套，一定要

6、用剪刀剪去手指，目的是让任何人都能看见该手套是破损的，不可以使用。・新的手套在使用前也同样进行确认。・先戴上乳胶手套，在这上面再戴上耐酸用橡胶手套。・橡胶長靴只在液室内便用，不耍在其它地方使用。2.KOH浸泡(1)打开KOH槽的门，每一个Order的部品放入。(2)在KOH槽Order确认表内记入Order号码。【注意事项】•再次确认洗净再生部品母材材质没冇AL的。AL制洗净再生部品上付着AL,用KOH处理，会使母材反应。在这种悄况下用硝酸水溶液处理。・各Order之间用板隔开。•螺钉及小物品用专用的器具

7、，每一Order放入。(3)关闭KOH槽的排水阀。(手动阀)【KOH槽排水手动阀】注：本文件更改，应有建议者提出申请，经批准后方可变更作成审核批准承认变更内容：文件编号版木号总1页S/QW51CL75001-02A/0第4页KOH膜剥离作业指导票上海申和热磁电子有限公司受控状态实施日期2002/03/01适用半导体洗净受控实施责任者洗净事业部长(4)在KOH槽内放入一次纯水。(5)将KOH放入KOH槽内。确认KOH槽内的水量后，定KOH的使用量。水量的确认方法：专用的治具确认。反应时间8〜16小时KOH槽

8、液温送4CTC,板只袖品，剥离温度小于70CKOH和水的混合比率水KOH10L:1kg制作KOH槽的水量和必要的KOH量的换算表。【注意事項】KOH—定要从夯品仓库取出，不要放在液洗室内。使用后剩余的KOH,—定要返回线品仓库。处理中的KOH槽正面应有【KOH处理中】及［Order管理中】的标识。(6)洗净用黄色周转箱放在液洗处理屮周转箱放置处放置。(7)打开加热器开关。2.从KOH槽屮取岀部品(1)保护具的使用。(作业同上述