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1、2014年6月宇航计测技术Jun.,2014第34卷第3期JournalofAstronauticMetrologyandMeasurementVol.34,No.3試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試文章编号:1000-7202(2014)03-0026-05中图分类号:TP274文献标识码:A基于虚拟仪器的真空计电参数检定系统贾军伟张书锋王欢李彤田虎林(北京东方计量测试研究所,北京100086)摘要介绍了真空计电参数检定装置及检定方法,并基于美国NI公司的Labview软件开发平台和真空计电参数检定规程,结合日
2、常型号服务的真空计电参数计量需求,开发了真空计电参数检定程序。程序以模块化思想为基础,可进行不同厂家各类真空计的的检定,实现数据自动处理,报告自动生成。关键词真空计Labview计量检定ElectricalParameterVerificationSystemofVacuumomterbasedonVirtualInstrumentTechnologyJIAJun-weiZHANGShu-fengWANGHuanLITongTIANHu-lin(BeijingOrientInstituteforMeasurement&Test,Beijing100086)Abstract
3、Theelectricalparameterverificationequipmentofvacuumomterandtheverificationmethodareintroduced.BasedontheLabviewsoftwareand“Verificationregulationforelectricparametersofvacuumometer”,tomeetthedemandofordinarytypeservice,anelectricparametersofvacuumometerverificationprogramisdeveloped.Thiss
4、oftwarecanbeappliedtokindsofvertificationofvacuumometer,providesmodularstructureswhichmayautomaticallydealwiththedateoftestedmachines,andtheorigi-nalrecordandcertificatescangointomassproductionautomatically.KeywordsVacuumometerLabviewMetrologyVerification1引言电压、发射电流和离子流,热偶真空计的加热电流和[2]热电势的统
5、称。在空间环模实验中,真空度的准确测量是环模实验可靠行的前提,在真空处理工艺真空技术是20世纪初发展起来的一门新的技中,真空度的准确测量是影响工艺的重要参数。真术学科,随着科技的进步,真空技术作为一门实用的[1]空计电参数的检定是保障真空计的量值准确传递和基础科技应用范围日益广泛。目前,真空技术已正确使用,确保型号研制、试验和生产过程中真空度广泛应用于航天、航空、高能物理、可控热核聚变、表量值传递的准确和统一的前提。真空计电参数检定面物理、半导体与微电子等尖端科学研究领域,此外装置用于电离真空计、热偶真空计和电阻真空计的还广泛应用于工业和服务业。真空计量是真空物理电参数检
6、定,针对标准装置仅能手动操作、电参数计和技术的重要组成部分。真空计是用于测量低于一量过程复杂、人工数据处理繁琐的情况,基于Lab-个大气压力的气体或蒸汽的仪器,真空计电参数的view8.2开发平台,依据电参数检定装置的基本工作计量是真空计量的重要项目。原理和《真空计电参数检定规程》,开发了真空计电真空计电参数是电离真空计的栅极电压、阴极第3期基于虚拟仪器的真空计电参数检定系统·27·参数检定程序,可大大提高工作效率。式中:I———真空计离子流示值;K———真空规管的+灵敏度系数;P———真空规管所处的压力值;Ie———2装置介绍真空计的发射电流。进而根据检规对数据进行处理
7、,判定。真空计电参数检定装置主要包括热偶计电参数检定部分和电离计检定部分,两部分既相互独立,又可通过转换开关共同分享同一台电源和多用数字表。其各部分原理和构成如图1所示。2.1装置的热偶计电参数检定部分该装置的热偶计电参数检定部分示意图如图1所示,该部分主要包括直流电源、等效电路、数字表、热偶计接口等,图中长丝电阻和短丝电阻分别等效长丝热偶规和短丝热偶规的加热灯丝,电阻R等效热偶规的热电偶灯丝的电阻。在检定过程中,首先图2装置的热偶计电参数检定部分原理图根据被检热偶计的类型通过开关切换选择长丝还是短丝,然后选择供电电源的方向,
