JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书

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1、JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书目錄l.i的22•範圍23權責24.參考資料25.儀器介紹26•操作程序7•注意事項8■1•目的本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡Z工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。2•範圍HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。3•權責3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。修訂方式亦同。3.2本工作指導書供相關操作人員參考。4•參考資料捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。5.儀器介紹5.1ExternalviewofJSM-6700F5.2Generalview

2、ofcolumn6•操作程序6.1開啟SEMOPEswitch6.2打開SEM電腦主機&螢幕6.3點選操作軟體視窗-JEOLPC-SEM6700（桌面）6.4確認SEM操作前步驟0K,檢視以下數值：a・氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力上5Kgb・確認EDS及BEIdetector已伸出chamber夕卜c.確認tilt位］［在0d・確認STAGE±WD在8mm及螢幕上WD在8mme・確認STAGE歸至原位X=35.00>Y二25.00、R=0.00（Soft:stage/exchange一選擇holder・-exchange）f・確認放大倍率縮至最小（250倍）g・確認加速電

3、壓是否在10KVh・確認ROTATION與BEAMSHIFT是否已歸位i・確認ProbeCurrent是否在7j・確認EXCHANGECHAMBER抽真空k・確認I.close（橘色燈亮）6.5將樣品置入試片載台a.試片大小需符合JEOLspecimenholders,將試片處理完後放置於樣品holder±,試片高度不可超過樣品holder±方0.5公分，並確認試片己固定好。b.洩真空，按SPECIMENEXCHANGECHAMBER（約一秒鐘聽到“喀”一聲）前室真空腔的扣型開關打開。c・依holder±標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門

4、之O・ring及電線，再關閉前室真空腔門。d・抽真空,按CHAMBER（約一秒鐘，爍）（此時前室真空腔和真空腔之間的閥門會打開），將試片傳送桿拉下至水平，緩緩將試片座推入真空腔（）。e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。6.6設定加速電壓及WD（依試片及實驗需求而定）。6.7檢視真空腔中的壓力（）,等候PVG值達到9.63X10-5Pao6.8由藍色轉變成綠色），待電流值達到設定值（一般設定值為10uA）o6.9（）Gun和真空腔中的閥門即會打開。6.10調整影像a.25倍利用移b.用搖桿控制x、y位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。c.調整聚焦及像差至影像

5、清楚（先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差x、y,直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及形的情況發生，應先調整FOCUS再調幣像差x、y直到影像完全清楚）。6.11傾斜觀察：根據試片使用的holdersize及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角度，不可超過上限規定。6.12BEI觀察：a.確認tilt=O>WD不得低於8mm。b.c.視窗右上方），約3~7秒BEIdetector會自動進入chamber,此時1d.影像調整至清楚狀態（在SEI或LEI模式下），再點選ImageSelectore・調整亮度及對比,若訊號太弱，則增加ProbeCurrent（I般設定

6、值為10）o6.13儲存影像a・有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇），若經FINEVIEW使影像凍結。b・此模式可將SEM之操作參數一併存入）儲存影像，檔案可存成bmp.tif、jpgo6.14實驗結束步驟a.（此時燈會亮起；Gun和真空腔中的閥門關閉）。b・由綠色轉變成藍色）。c・若有執行BEI或EDS察分析者,應將其detector伸出chamber。a.復原相關設定(ex.Freeze>Fineview>放大倍率、ProbeCurrent…等)e・確認tilt=O、STAGE上WD=8mm及螢幕WD設定8mm0f.確認STAGE歸位X二35.00、Y二25.00、R=0.0

7、0(Soft:stage/exchange—選擇holder・-exchange)g-h・以試片傳送桿緩緩抽出試片座（（）i・（約一秒鐘聽到“喀”一聲）等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。j・取出試片座，並檢查艙門之O・ring及電線。k.（閃爍），使Specimen-exchangechamber維持真空。1・填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。7.注意事項7.1準備黏貼試片時請戴手套，並請丨次戴好，以免手上的汗水和油脂污染了手套，間接污染了