玻璃上真空蒸镀铝反光膜色泽失效分析

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1、玻璃上真空蒸镀铝反光膜色泽失效分析况敏，赵利，宋进兵(广州有色金属研究院，广东广州510650)摘要：采用JSM．5910扫描电镜和NORAN能量色散光谱仪，对玻璃上真空蒸镀铝镜面反光膜色泽异常失效情况进行分析，发现镀铝膜上色泽失效区为大量富Al质点富积。研究得出一定浓密度的富A1质点对光的漫反射是产生铝镜面反光膜表面色泽失效的土因：同时提出了富Al质点的成因及其消减的措施。关键词：真空蒸发镀膜；铝反光膜；镀层缺陷FailureAnalysisontheColorofReflectingAluminumFilmonGlassbyVacuumEvapora

2、tionKUANGMin，ZHAOLi-SONGJin-bing(GuangzhouResearchInstituteofNonferrousMetals，Guangzhou510650，China)Abstract：FailureAnalysisonthecolorofreflectingAluminumfilmonglassbyvacuumevaporationwasinvestigatedusingJSM一5910scanningelectronmicroscopyandNORANenergydispersivespectrometer．There

3、sultsshowthatlargeamountsofparticlesenrichwithaluminumsegregatedinthecolordefectareas，Thescatteringreflectioncausebvcertainconcentrationofparticlesenrichedwithaluminumaccountstothecolordefectofaluminumreflectingfilm．Theoriginofparticlesenrichedwithaluminumandthesolutiontoitaredis

4、eussed．Keywords：vacuumevaporation：reflectingaluminumfilm；filmdefeet通常生产冷光灯杯反光膜粟用真空蒸发镀铝方法。正常情况下铝反光膜在光照时呈现镜面反射光泽。但某厂的产品中，有相当比例出现膜层色泽异常失效，即在光束定向照射镀铝灯杯时，转动灯杯，从不同角度观察，膜层局部区域出现一层发蠓的“白雾”状现象，反光率达不到设定要求，故为失效品。同类情况在同类工厂中出现比例较高。为了克服此类缺陷，本文研究了冷光灯杯真空镀膜异常失效区产物，分析引起失效的原因，找出了克服此类缺陷的办法。1试验方法采用同时存

5、在镀铝层正常区与异常失效区的镀铝灯杯作为分析试样，比较两区域的异同。采用扫描电镜进行镀铝膜表面形貌观察，比较两区域形貌特征的差异。采用能谱分析进行成分半定量分析，分析两区铝膜或其特征产物的成分差异。2试验结果2，1正常区与异常区韵铝膜层表面形貌图l为镀铝层正常区的表面形貌，表面存在一些小黑点，通过聚焦操作可判定为小凹坑，如针孔类缺陷。此外还存在一些小白点，可判定为镀层上的小凸作者倚介：况敏(1963一)，女，广州有色金属研究院，高级工程师，从事金属材料失效分析、表面处理技术领域研究。获中国有色金属工业总公司科技进步一等奖。电话：020-61086654，

6、电子信箱：annice_km@yahoo．COIll．cn丘，有待进一步分析。图2为镀铝层异常区的表面形貌，镀层表面除存在少量小黑点外，存在密度较图l大的小自点，这些小凸丘大小不一，总体而言其尺寸较图1正常区的大，稠密地散落在镀层表面。图1正常区表而形貌特征Fig．1Surfacemorphologyofnormalarca固2异常区表面形貌特征Fig．2Surfacemorphologyofdefectal-ea《金属热处理》2007年第32卷(增刊)大量的大小不一稠密散布的小凸丘是异常区与正常区表面形貌特征的主要区别。2，2小凸丘的大小、形状与密度图

7、3是图2小凸丘尺寸随机测量结果。共测量11个小凸丘，尺度0．6—1．2／am，平均为0．783J_tm。而图1正常区的小凸丘，在视场所见最大尺度为0．33ttm。图4和图5分别为图1和图2的放大图。可以看到小凸丘的外形多数近似园形，即呈扁球冠状凸起浮雕，也有不规则的形状。图3异常区小凸丘大小尺寸随机测量Fig3RandommeasurcⅡEⅡtoftheprotuberancessizesindefectarea图4正常区图1的高倍彤貌Fig，4HighermagnificationofFig．1图5异常区图2的高倍彤貌Fi吝5Highermagnifi

8、cationofF噜2对图1、图4和图2、图5中可见小凸丘分别进行统计，再按其放