光刻网上资料

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1、一、光刻机概述  光刻是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。    光刻机是将大规模集成电路或平板显示驱动电路图形投影到某种材质表面上,并使得所需图形区域的光刻胶曝光，实现图形转移到涂有光刻胶的半导体晶圆或平板显示玻璃基板材质上的设备。也可以说，光刻机是在制造集成电路(包括LED芯片)、平板显示器的过程中，把工程师的设计“印入”基底材料使其成为功能电路的专用设备。    光刻机是是半导体集成电路、半导体分立器件、半导体封装、平板显示器(包括液晶、AM-OL

2、ED、等离子等)、触摸屏、电子书、3D、LED芯片、太阳能电池等生产中的核心设备。由于其昂贵的价格（占生产设备总投资的20%左右）以及在生产线中的重要性，被业界称为“印钞机”。二、全球光刻机生产情况  光刻机是集光学、机械、电子、化学、系统软件为一体的极高精密先进设备，全球只有极少数国家和企业能够商业化生产。    目前，全球市场上提供量产商用的半导体光刻机厂商有三家：ASML、尼康(Nikon)、佳能(Canon)。在中高端半导体光刻机市场，ASML占据大约60%的市场份额；而最高端市场(例如沉浸式光刻机)，ASML大约占据90%的市场份额。尼康公司在步进式(中低端)

3、光刻机的市场上占据首位，佳能公司排名世界第3位。    平板显示器光刻机供应商也只有三家：尼康(Nikon)、佳能(Canon)、亚速尔(Azores)公司。虽然TFT-LCD的光刻技术起源于美国，但日本是TFT-LCD平板显示器量产最早的国家，为尼康和佳能的平板显示光刻机的产业应用提供了良好的市场环境。目前，尼康和佳能占据90%以上的平板显示光刻机的市场。Azores公司的市场占有率小于10%。三、光刻机国产化的重大意义    光刻机作为集成电路、LED、太阳能光伏电池、平板显示器的核心生产装备，位居整个产业链的上游，但是长期被荷兰、日本和美国把持，为其掘取巨额利润。

4、更重要的是上述国家完全可能控制向中国出口，扼制甚至扼杀我国的半导体、LED、平板显示器工业。该项目的国产化对国家IT产业链的完善、对打破国外垄断封锁、对建立自主知识产权的创新性经济具有重大意义。    LED作为全球新兴产业，整个产业链在万亿量级；在这个产业中，核心设备是MOCVD和光刻机。现阶段LED用光刻机来自于半导体集成电路生产用光刻机的淘汰设备(大多都有15-20年工龄)，这些设备已停产多年，整个供应链在不断瓦解，LED厂商天天为设备故障找不到配件而苦恼。淘汰设备越来越少，价格越来越高；不论是数量上、质量上或价格上都不足以支持LED这一新兴行业。因此，此项目的第

5、一步就是生产出全新的专用于LED的光刻机。    1.完善产业链    中国电子信息产业虽然有了长足发展，但本身业亦面临很多问题，其中首要的问题就是产业链的不完整，主要表现为上游的装备制造设备、材料类的缺乏。上游的缺乏导致我们的企业都要依靠进口国外的制造设备和材料，从上游受制于国外。    光刻机国内产业化项目能改变我国电子信息产业关键装备的空白现状，打破国外厂商垄断国内市场的局面，降低电子信息产业的生产制造成本，促进产业链的完善。    2、培育本土化的产业人才    该项目有助于培养我国本土的光刻机高端研发人才，实现核心技术的自主掌握，保障重大产业的持续高端发展。 

6、   3、促进国民经济转型、产业结构调整的需要    我们长期以来依靠资源投入和环境污染实现国民经济的传统数量型粗放型增长，而发展七大战略性新兴产业，可实现经济转型、结构调整，促进国民经济可持续发展，建立创新型国家，提高高素质人口的就业能力。而光刻机则兼跨新一代信息技术和装备制造业两大战略性新兴产业。    2010年10月10日《国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定》，圈定七大战略性新兴产业作为国家未来重点扶持的对象，其中新一代信息技术位列七大之首。新一代信息技术主要聚焦在下一代通信网络(如3G、4G)、物联网、三网融合、新型平板显示、高性能集成电路和高端软件

7、等范畴。    4月20日，在清华百年校庆之际，HJT来到清华考察，清华副校长邱勇汇报了由他负责的有机发光显示器(OLED)项目。OLED是平板显示器的一种，其成本结构中，最贵的就是光刻机。    中央政治局5月30日就培育发展战略性新兴产业进行集体学习。HJT强调，加快培育发展新一代信息技术等战略性新兴产业，对实现经济社会全面协调可持续发展，对全面建设小康社会、加快推进现代化具有重要战略意义。要加大政策扶持力度，深化体制机制改革，着力营造良好环境，强化科技成果产业化，推动战略性新兴产业快速健康发展。    4、是中国科技界的荣耀