手套箱技术方案

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1、手套箱技术指标详细内容一、详细内容1、名称：循环净化手套箱（连接蒸镀机的手套箱及其密封转移箱）2、主要用途：对蒸镀器件进行惰性气体保护，及在手套箱内进行相关科学实验3、基本要求和主要配置：集成有封闭的操作箱体（带有倾斜的操作面和安全玻璃前窗）、与蒸镀机对接的箱体、大过渡舱、小过度舱、循环净化单元、净化材料还原再生系统，PLC控制及触摸屏操作系统、真空系统、支架等，具体包括：A、操作箱体1）、304不锈钢的箱体，箱体尺寸：1220×750×900（标配304不锈钢材质）2）、不锈钢制成的大真空过渡室，直径

2、360mm×长600mm；右置3）、小的真空过渡室，直径150mm，长度360mm，与大过渡室同侧布置4）、操作面安装带两个手套口的前窗，安全钢化玻璃厚度10mm，手套口材质为阳极氧化合金铝，表面钝化保护层：黑色5）、两个丁基橡胶手套6）、操作面装有1套照明系统，采用LED灯管7）、箱内多功能电源插座8）、箱体内配两层可拆卸置物搁板9）、底架箱及万向可调节水平的万向脚轮，高度可调节支承腿（可对箱体水平进行微调）10）、脚踏开关（方便人工干预箱体压力）B、与蒸镀机对接的密封转移箱1）与蒸镀机对接法兰及相关

3、密封机构2）通过操作口，可以方便的提取蒸镀机腔室内的器件，相关结构形式由投标方提供方案及结构示意图，要求：安全、方便、密封可靠C、循环净化系统1）、高性能的循环净化风机罐（采用变频微处理器控制高压风机）2）、高效除氧除水除有机溶剂的净化系统，采用高真空电磁阀控制循环管路，不接收电气动阀（无须电气动阀所须的控制气钢瓶）3）、除氧剂填装量≥8公斤，除水剂填装量≥16公斤3）、高效过滤器（过滤精度达0.3µm，净化系统气体进出口各一套共二套）4）、有机溶剂吸附器，活性炭填装量≥6公斤5）净化材料还原再生系统，

4、净化材料还原再生率可达80%6）净化罐采用独特的专利技术（需提供相关专利证书），可大幅提高净化材料的还原再生率及净化材料的有效填装量D、控制系统1）、采用微差压压力控制系统（有效地自动控制手套箱的压力）2）、PLC控制及触摸屏操作显示系统（友好的人机对话界面，电气控制系统2终身质保，终身免费软件升级）3）、四个盲板法兰，KF40E、水分析仪（又称露点仪）F、氧分析仪，采用ZrO2探头，不接收燃料电池探头G、真空泵（可在系统需要时自动启动，也可通过触摸屏人工干预工作，可以一泵多用）4、工艺要求及技术指标：

5、1）水含量<1ppm2）氧含量<1ppm3）泄漏率：<0.005VOL%/H（系统须有自动检测泄漏率功能,须提供第三方检测报告）4）除氧剂填装量：8公斤5）除水剂填装量：16公斤6）活性炭填装量：6公斤7）有效除氧量：>120升8）有效除水量：>5公斤9）净化材料一次再生率：>80%10）正常情况下空箱运行，水氧含量到达1ppm的时间≤50分钟11）正常情况下净化材料还原再生间隔周期≥12个月12）正常情况下净化材料更换周期≥15年2