纯水系统技术手册下.ppt

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1、純水系統技術手冊下Facility廠務部东莞万士达液晶显示器有限公司砂濾塔(MULTIMEDIAFILTER)在MMF設備中，是用濾材(Anthracite)將原水中的懸濁粒子或膠質粒子等微細的不純物除去。一般水中的懸濁粒子或膠質粒子等在粒子表面為負電荷，互相排斥而保持安定分散的狀態。針對此，添加帶有相反電荷的PAC已中和電荷，將懸濁粒子等結合，形成群狀，由Anthracite層將之捕捉住。濾材:級配,石英砂,無煙煤用途:初步過濾,去除20u以上的雜質砂濾池的目的在去除較大的粒子（..10-50微

2、米）、懸浮物，以及未沉降的絮狀物。它屬於深層過濾（depthfiltration）的一種，被去除的粒子可能在砂石表層被阻隔，也可能在進入內層時被陷住。多媒體（multimedia）砂濾池則是利用多種不同種類，大小密度各異的小石塊或砂子，將大顆但較輕的排在上層，較小顆且重的排下層，如此可減少操作過程中壓力降太大而阻礙水流，並方便定期的逆洗（backwash）以除去污物加氯的主要目的在去除細菌等微生物，因微生物與一般雜質不同之處在於它會自我繁殖，只要有一隻細菌就可以在短時間內繁殖變成千萬隻，因此必須對它作

3、控制，以免影響水質以及後續的淨化設備。加氯是許多種殺死微生物的方法中最便宜、高效率的方式，一般以添加次氯酸鈉（..NaOCl）或二水合次氯酸鈣（Ca(OCl)2H2O）最常見，在酸性水溶液（PH<7）時效果最佳。連續投藥的劑量約..0.2-2ppm，瞬間劑量（shocktreatment）是..100-200ppm。加氯雖然可有效控制微生物的生長，但是有一些副作用，例如添加的藥劑溶於水中變成離子，勢必要在後續處理中去除；殘餘的氯是強氧化劑，會對後續的設備（如..RO薄膜、離子交換樹脂）造成破壞；氯還可

4、能和水中的有機物生成含氯致癌物，影響人類健康，所以有些廠區會考慮以其它菌方法取代。多介质过滤器(砂濾)位置：纯水房。原理：多介质过滤器利用无烟煤、石英砂滤料的吸咐和机械筛网作用，截留水中的悬浮杂质，降低水的浊度。反洗：截留物的积累，会使多介质过滤器的进出水压差增加，出水水质会因污物穿透而下降，需要定期反洗以去除污物。出水要求：SDI＜5多介质滤器填料无烟煤鹅卵石d5~25mm石英砂d0.4~5mm进气位置视镜位置多介质滤器阀组正洗进水阀反洗排水阀进气阀进水阀出水阀反洗进水阀正洗排水阀运行排水气洗反洗正

5、洗原水泵反洗泵罗茨风机活性碳(ActivatedCarbonFilter)ACF是利用活性碳的物理吸著組織，將水中的游離氯氣、苯酚、亞硝酸、硝酸、鐵等不純物除去，將進入過濾水槽中的回收水所包含的有機物(TOC)分解為目的。活性碳是很好的吸附劑，具有多孔性，大的比表面積（..~1000m2/g）的特性，大部分半導體界用的活性碳為顆粒狀，由椰子殼碳化，1000℃活化而成，並須經輻射照射成無菌狀態。它可以吸附有機物，是前處理中降低..TOC的有效方法。同時它也會吸附殘留的氯，間接保護..RO等設備。在活性碳

6、之後往往跟隨著一種高分子材質的濾膜，孔徑約..1-5μm，可將活性碳槽中破碎的碳粉（carbonfine）攔截，以免它隨著水漂流至後續的設備中。活性碳之功用特性一、去除流體中有機物及碳氫化合物二、純水製程主要去除自來水中自由餘氯、三鹵甲烷、重金屬等物質三、活性碳可由多種不同含碳物製造,包括煤、木材、椰子殼及泥煤等。二種常使用之活性碳類型1.粉末狀活性碳(PAC)活性碳經磨碎篩分離後，其顆粒粒徑小於325mesh(0.043mm)者約占60~75%。2.顆粒狀活性碳(GAC)指粒徑大於40mesh(0

7、.420mm)，主要由木屑、褐煤、泥碳或椰子殼經乾餾、熱解所製成。由於表面積較小，吸附力無PAC強，但因顆粒較大，在管徑中不易阻塞，可減低壓力損失。活性碳之一般性質填充密度0.35~0.55g/cm3比熱0.27~0.36cal/g℃孔隙體積0.56~1.20cm3/g表面積600~1600m2/g平均孔隙直徑15~250A再生溫度(蒸氣)100~140℃最高容許溫度150℃活性碳之壽命一、自由餘氯洩漏即壽命終止二、自由餘氯達0.1ppm時,會造成RO膜水解影響活性碳吸附之因素一.拌和l吸附速率可

8、受膜擴散或孔擴散之控制，視系統之拌合速度而定l均流程度越佳，效果越好l流通速度適中二.活性碳之性質l活性碳之總吸附能力與其總表面積有關l粒徑大小對總表面積並無太大影響l大部份表面積皆在顆粒之孔隙內。三.被吸附物之溶度l吸附發生時，分孔應與溶劑分離，並與碳表面接觸。四.被吸附分子之大小l若孔隙大小剛可容許分子進入，則吸附力應屬最強。五.PHlPH對吸附程度有極大之影響，原因為氫離子本身被吸附之能力極強。l吸附程序之最佳PH，應由實驗求得。六.溫度l溫度增