硅片生产工艺.doc

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1、.硅片生产制造工艺流程1.切方磨圆　　将矽单晶圆棒按尺寸要求，切割成矽单晶准方棒，并将切割　　后的准方棒四角，用滚磨机磨圆。2.酸洗　　将检测合格的矽单晶准方棒放入配好的酸液中，除去表面杂　　质，使其清洁便于下道工序。3.粘胶　　将清洁干净的矽单晶准方棒与工件板进行粘接。4.切片　　将粘好的矽单晶准方棒安装在切片机的切割工位上，通过设定好的工艺参数，将其切割成片。5.清洗脱胶　　将切割后的矽片进行预清洗，除去表面附着的切削液等杂质　　，并将预清洗后的矽片进行脱胶。6.超声波清洗　　将脱过胶的矽片插在矽片盒里并放入超声波清洗机中进行清　　洗。7.甩干　　将超声波清洗后的矽片连盒插在甩干机的甩

2、干工位上，通过　　离心和加热将其表面甩干。8.检片包装　　对矽片进行检测，主要包括外观、厚度、电阻率、TTV与翘　　曲度等，并将检测后的矽片按等级和发货类型进行分类并包　　装。    精选word范本！