半导体集成电路cmos试题.doc

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1、第二部分参考答案第0章绪论1.通过一系列的加工工艺，将晶体管，二极管等有源器件和电阻，电容等无源元件，按一定电路互连。集成在一块半导体基片上。封装在一个外壳内，执行特定的电路或系统功能。2.小规模集成电路（SSI），中规模集成电路（MSI），大规模集成电路（VSI），超大规模集成电路（VLSI），特大规模集成电路（ULSI），巨大规模集成电路（GSI）3.双极型（BJT）集成电路，单极型（MOS）集成电路，Bi-CMOS型集成电路。4.数字集成电路，模拟集成电路，数模混合集成电路。5.集成电路中半导体器件的最小尺寸如M

2、OSFET的最小沟道长度。是衡量集成电路加工和设计水平的重要标志。它的减小使得芯片集成度的直接提高。6.名词解释：集成度：一个芯片上容纳的晶体管的数目wafersize：指包含成千上百个芯片的大圆硅片的直径diesize：指没有封装的单个集成电路摩尔定律：集成电路的芯片的集成度三年每三年提四倍而加工尺寸缩小倍。第1章集成电路的基本制造工艺1.减小集电极串联电阻，减小寄生PNP管的影响2.电阻率过大将增大集电极串联电阻，扩大饱和压降，若过小耐压低，结电容增大，且外延时下推大3.第一次光刻：N+隐埋层扩散孔光刻第二次光刻：

3、P隔离扩散孔光刻第三次光刻：P型基区扩散孔光刻第四次光刻：N+发射区扩散孔光刻第五次光刻：引线孔光刻第六次光刻：反刻铝4.P阱光刻，光刻有源区，光刻多晶硅，P+区光刻，N+区光刻，光刻接触孔，光刻铝线5.NPN晶体管电流增益小，集电极串联电阻大，NPN管的C极只能接固定电位6.首先NPN具有较薄的基区，提高了其性能：N阱使得NPN管C极与衬底断开，可根据电路需要接任意电位。缺点：集电极串联电阻还是太大，影响其双极器件的驱动能力。改进方法在N阱里加隐埋层，使NPN管的集电极电阻减小。提高器件的抗闩锁效应。7.BECnn+

4、p+Sn+-BLPp+n+pBECSpp+nn+n+8.第2章集成电路中的晶体管及其寄生效应1.PNP管为四层三结晶体管的寄生晶体管，当NPN晶体管工作在正向工作区时，即NPN的发射极正偏，集电极反偏，那么寄生晶体管的发射极反偏所以它就截止，对电路没有影响。当NPN处于反向工作区时，寄生管子工作在正向工作区，它的影响不能忽略。当NPN工作在饱和区时寄生晶体管也工作在正向工作区，它减小了集电极电流，使反向NPN的发射极电流作为无用电流流向衬底。此时寄生效应也不能忽略2.在实际的集成晶体管中存在着点和存储效应和从晶体管有效

5、基区晶体管要引出端之间的欧姆体电阻，他们会对晶体管的工作产生影响。3.MOS晶体管的有源寄生效应是指MOS集成电路中存在的一些不希望的寄生双极晶体管、场区寄生MOS管和寄生PNPN（闩锁效应），这些效应对MOS器件的工作稳定性产生极大的影响。4.在单阱工艺的MOS器件中（P阱为例），由于NMOS管源与衬底组成PN结，而PMOS管的源与衬底也构成一个PN结，两个PN结串联组成PNPN结构，即两个寄生三极管(NPN和PNP)，一旦有因素使得寄生三极管有一个微弱导通，两者的正反馈使得电流积聚增加，产生自锁现象。影响：产生自锁

6、后，如果电源能提供足够大的电流，则由于电流过大，电路将被烧毁。5.版图设计时：为减小寄生电阻Rs和Rw，版图设计时采用双阱工艺、多增加电源和地接触孔数目，加粗电源线和地线，对接触进行合理规划布局，减小有害的电位梯度；工艺设计时：降低寄生三极管的电流放大倍数：以N阱CMOS为例，为降低两晶体管的放大倍数，有效提高抗自锁的能力，注意扩散浓度的控制。为减小寄生PNP管的寄生电阻Rs，可在高浓度硅上外延低浓度硅作为衬底，抑制自锁效应。工艺上采用深阱扩散增加基区宽度可以有效降低寄生NPN管的放大倍数；具体应用时：使用时尽量避免各

7、种串扰的引入，注意输出电流不易过大。6.在第二次光刻生成有源区时，进行场氧生长前进行场区离子注入，提高寄生MOSFET的阈值电压，使其不易开启；增加场氧生长厚度，使寄生MOSFET的阈值电压绝对值升高，不容易开启。7.（1）增大基区宽度：由工艺决定；（2）使衬底可靠接地或电源。第3章集成电路中的无源元件1.双极性集成电路中最常用的电阻器是基区扩散电阻MOS集成电路中常用的电阻有多晶硅电阻和用MOS管形成的电阻。2.反偏PN结电容和MOS电容器。3.基区薄层电阻扩散完成后，还有多道高温处理工序，所以杂质会进一步往里边推，

8、同时表面的硅会进一步氧化。形成管子后，实际电阻比原来要高，所以需要修正。4.长时间较的电流流过铝条，会产生铝的电迁移的现象，结果是连线的一端生晶须，另一端则产生空洞，严重时甚至会断裂。5.r(L/W)=R=1KL/W=5I=V/R=1mAP=(I*I*r)/(WL)公式变形W=6.32注意：这里各单位间的关系，宽度是微米时，要求电