TFT LCD行业静电防护.ppt

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1、去除静电seminar目录1.静电是?1-1何种情况下发生静电?1-2带电量的基准1-3由于静电引起的trouble事例2.除电是?2-1除电是?2-2导体的除电方法2-3绝缘体的除电方法3.除电器基础知识3-1除电能力3-2电压施加方式和各自的特点4.除电器的种类和选定方法4-1除电器的种类4-2除电器的选定方法5.KEYENCE除电器的介绍5-1除电器的种类5-2关于I.C.C.制御5-3功能介绍附录I.C.C.的详细内容1.静电是什么?1-1何种情况下发生静电?大家都熟知静电是在两个物体摩擦时产生的。一般静电是因为两个物体的接触和分离（剥离），摩擦，物体的变形，

2、ion的贴附等引起的。①物体摩擦时②接触的东西剥离时③气体或液体流进pipehose里时日常生活中都无法感觉到的程度的摩擦,但在反复剥离的制造现场中有可能会因为这种情况的变化而导致的静电。1-2带电量的基准以带电量的基准来介绍人体带电时的带电量和电性冲击。人体带电和电性冲击的关系1kV以下的静电人几乎感受不到，但在制造现场会成为各种trouble发生的原因。人体带电电位(kV)电冲击程度1.0完全感受不到.3.0稍微有点痛症.5.0到手掌，手腕都有麻的感觉.7.0在手掌上感觉到强的痛症和麻痹感。10.0全手感到痛症和流电感。12.0有猛打全手的感觉1-3由于静电引起的

3、trouble事例在制造现场静电可能是导致设备停止或者不良品发生等各种各样的Trouble的原因。在此就介绍实际上是因为静电引起而发生的trouble事例。①Partfeeder堵塞②成型品的排出不良③由于吸附不良引起的2枚移送④由于灰尘附着涂布偏差⑤剥离基板放电引起的pattern破坏⑥现场中的不快感2.除电是什么?2-1除电是什么?除电是通过摩擦等方法来把集中在物体表面的静电(+,-)换成0V的情况。除电对策根据带电物体的不同有多种方法。若采取了错误的对策即达不到除电效果反而会因为逆带电而丢弃。2-2导体的除电方法使用接地的简单对策铝或铁之类的金属（导电体）带电时

4、只要接地带电就会变成0。2-3绝缘体的带电方法①使用导电性高的物质(导电化)为了使接地也不能除静电的绝缘体(树脂性物品或橡胶)也能通过接地来除电，在产品或材料本身混合导电性（碳，金属成分等）或涂布带电防止剂之类的方法叫导电化。【对策例】导电性塑料导电性橡皮sheet带电防止spray导电化②环境方面的对策应用湿度达到65%以上几乎就不发生静电的物理现象，采取控制周围环境的湿度的方式。这其实是控制环境本身，所以装置或设备体积就会变大。.③除电器的使用方法③-1除电brush,ribbon方面的除电（自我放电式）除电brush,ribbon直接接触在earth,是利用对方

5、的静电能量来除电。因为不需要电源，设置也简单，是容易采取的对策。<除电brush，ribbon的构造〉(1)把除电brush靠近带电物，，就会由于静电诱导，使跟带电物相反的极性电荷，就会集中在线前段。(2)集中的电荷达到一定水平的电荷量时，就会发生corona放电，产生与集中的电荷同样极性的ion.(3)产生的ion是跟带电物有相反的极性，所以会因带电物表面的静电而贴上。(4)发生的ion和静电气会中和，根据这个现象对象物表面上的静电就能除除。<除电brush,ribbon的除电原理〉〈除电brush,ribbon的优点，缺点〉除电brush,ribbon是即便宜又容

6、易导入的除电器，但从原理上除电能力受带电物的电位的影响，所以只有对带电量大的物体才会有效果。具体说的话，带电量数十kV的物体只能除去到数kV程度。不能混入异物的工程上不能使用。这是因为这种维持有可能会中断。<简单知识1>静电诱导是?把导体放到带电物体周边时，导体内部的电子就会移动，导致带电量相反面的极性跟带电物的极性会相反，这种现象叫“静电诱导”。<简单知识2>corona放电是?是像针的终端似的在物体的终端部分加高电压时，发生的现象，指的往地面放电的现象。③-2除电器(电压施加式)〈除电机的构造〉如右图，通过往电极针上施加高电压的方法，引起corona放电，把空气i

7、on化，生成+,-各自的离子。若在电极针上施加+的高电压，就会产生+ion，若施加–的高电压，就会产生-ion.3.除电器基础知识3-1除电能力除电器所需要的能力有①到除电为止的时间→除电速度②能维持0V到什么程度→有2种ionbalance，一般都会表现为EOS/ESD规格规定之内。.3-2电压施加方式和各自的特征根据往电极针施加高电压的方式的不同，有很多种特征。在此介绍施加电压的方式和特征。①DC方式往电极针上施加直流高电压的方式●特征由于是在1个电极针上施加直流高电压，所以加+电源时产生+ion,加-电源时只产生-ion.因此有以下特征Ion产