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1、PVDCOATINGPROCESS东宇热处理工业(株)ArcPVDCoating概要利用PLASMA在TARGET表面使用ARC,E-Beam,Directheating等蒸发金属物质后增加加速Bias电压在产品表面蒸着的真空法。Titanium(Ti)isvaporized,ionizedandacceleratedinonestepbythearc,e-beam,directheat.Reactivegasisaddedtothemetalionsandionized.Allionsareacceler
2、atedtowardstheworkpiecebytheBIASvoltageTargetCathodeN2ReactivegasWorkpieceTiNTi+Ti++0~-1000VBIASVoltageBIASVoltageVaporization,ionizationSolidTarget(Ti)Ti++Ti++Ti+Ti+0~㎛ArcE-beamDirectheatHeatedioncloud=Plasma东宇热处理工业(株)PVDCoating特征●高硬度(HighHardness)●高密度的组织
3、(DenseStructure)●平滑表面(SmoothSurface)●低磨擦率(LowFrictionCoefficient)●化学稳定性及无反应性●低热传导(Lowthermalcomductivity)●密着特性(Excellentadhesion)涂层膜颜色硬度(Hv)耐磨性耐蒸着性耐腐蚀性耐散化性使用TiN金色~2,500★★★★★★★★切割工具,金属,技能型配件,装饰TiAlN黑色~3,000★★★★★★★★★★切割工具CrNMetal~2,000★★★★★★★★★金属,机械配件(耐腐蚀性)C
4、oating膜种类及特性比较东宇热处理工业(株)离合器PUNCH立端刀,滚刀等膜厚度:3㎛化妆品MIX涂层膜种类:TiN备注:应用现有Cr涂金⇒因磨损Cr成分对人体有影响东宇热处理工业(株)PVD涂层应用事例-TiN材质:SKD11膜厚度:3~4㎛涂层膜种类:TiN用途:汽车离合器材质:SKD11膜厚度:3㎛涂层膜种类:TiN用途:立端刀等切割工具电子配件制陶术粉末PUNCHPUNCH类东宇热处理工业(株)PVD涂层应用事例-TiN材质:HSS膜厚度:3㎛涂层膜种类:TiN备 注:未涂层时划痕涂层后提高10
5、倍以上的寿命效果。材质:HSS膜厚度:3~4㎛涂层膜种类:TiN备 注:涂层后提高寿命效果。东宇热处理工业(株)工具类(钻孔机)指甲修整用,砂纸切断用金属CircularSawBladePVD涂层应用事例-TiAIN材质:HSS膜厚度:3~4㎛涂层膜种类:TiAIN材质:HSS膜厚度:3~4㎛涂层膜种类:TiAIN备注:可以处理直径550mm为止材质:HSS膜厚度:3㎛涂层膜种类:TiAIN东宇热处理工业(株)普通钢板弯曲用Die(1.3t)PVD涂层应用事例-CrN材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:
6、CrN备注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层普通钢板弯曲用Die(1.3t)材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:CrN备注:未涂层时100个左右,涂层时可以加工数万个CROSSMBRSTEELS(LH,1.4t)CROSSMBRSTEELS(RH,1.4t)东宇热处理工业(株)PVD涂层应用事例-CrN材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:CrN(DuplexCoating,ION氮化+涂层)备注:完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系数低)材质:HK700(SKD11类似钢种–铸钢)膜
7、厚度:5㎛涂层膜种类:CrN(DuplexCoating,ION氮化+涂层)备注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层FRSIDEMBRSTEELSFRSIDEMBRSTEELS东宇热处理工业(株)PVD涂层应用事例-CrN材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:CrN(DuplexCoating,ION氮化+涂层)备注:应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:CrN(DuplexCoating,ION氮化+涂层)备注:完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系
8、数低)BUMPERSTEELS(1.6t)FUELTANKSTEELS(0.8t)东宇热处理工业(株)PVD涂层应用事例-CrN材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:CrN(DuplexCoating,ION氮化+涂层)备注:应用03.11.30现在量产操作中材质:SKD11膜厚度:5㎛涂层膜种类:CrN(DuplexCoating,ION氮化+涂层)备注:应用03.08.05RRXMBRUPPERSTEELS