上海市微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范正文20181030报批稿.doc

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1、上海市微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范正文20181030报批稿　　JJF（沪）上海市地方计量校准规范JJF（沪）XXXX-20XX微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范CalibrationSpecificationforMicro/Nano--SStepHHeight/DepthStandardss（报批稿）20XXX--XX--XXX发布20XXX--XX--XXX实施上海市质量技术监督局发布JJF（沪）XXXX-20XX微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范CalibrationSpecificationforMicro/Nanoo--StepHeight//Dept

2、hStandarddss本规范经上海市质量技术监督局于20XX年XX月XX日批准，并自20XX年XX月XX日起施行。　　（9）JJF（沪）XXXX-20XXII引言JJF1071-xx《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-xx《通用计量术语及定义》、JJF1059.1—xx《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规。　　本规范为首次制定。　　JJF（沪）XXXX-20XX1微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范11范围本规范适用于高度在5nm到1000nm之间的微纳米台阶高度（深度）标准样板的校准,对于高度不超过6000nm的台阶高度（深度）标

3、准样板可参照本规范执行。　　22引用文献本规范引用下列文献指导书的条文GB/T3505-xx产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数GB/T10610-xx产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法GB/T19067.1-xx产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标准第1部分实物测量标准GB/T19067.2-xx产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标准第2部分软件测量标准凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。　　33术语下列术语和定义适

4、用于本校准规范。　　3.1微纳米台阶高度（深度）（micro/nano-stepheight/depth）具有微纳米尺度量值的台阶状表面几何结构形式，用来表征垂直高度（深度）。　　3.2微纳米台阶高度（深度）标准样板（micro/nano-stepheight/depthstandard）具有微纳米台阶高度（深度）几何结构形式的实物传递样板。　　3.3扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope,SPM）基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。　　其利用探针与样品的不同相互作用来探测被测样品表面或界面在微纳米尺度上表现出的物理特性和化学特性，包括原子

5、力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM）、扫描隧道显微镜（scanningtunnelingJJF（沪）XXXX-20XX2microscope，STM）等。　　3.4计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope,MSPM）具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜。　　比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针显微镜。　　44概述微纳米台阶高度（深度）标准样板是指具有微纳米尺度量值，在样板工作区域内以台阶状表面几何结构形状表征，可复现或提供一个或多个与基准

6、面间垂直高度量值的实物量具。　　该类样板可作为量值传递的标准样板或工作样板使用，目前常用样板的外形见图1。　　微纳米台阶高度（深度）标准样板通常是通过对石英玻璃或硅等基底材料或是对其表面上镀制的膜层，进行直接或间接刻蚀加工；或是通过对单晶硅基底材料进行化学生长等微电子加工手段来制备。　　有时为了保护样板的表面结构会在其表面上再镀制一层薄的保护膜层，如铂、铬层等。　　微纳米台阶高度（深度）标准样板常见的几何结构有单层规则形状的单一高度、单层一维光栅形状的单一高度、单层二维格栅形状的单一高度、多层复合高度和不规则形状高度等表征形式。　　目前典型的样板表面结构形状见图2。　　微纳米台阶高

7、度（深度）标准样板主要用于扫描探针显微镜、台阶仪、触针式轮廓仪和光学式表面形貌测量仪等微纳米测量仪器的垂直方向位移量的校准。　　被校准仪器通过系列样板测得的台阶高度（深度）量值与样板校准值的比较，从而对被测仪器的垂直位移特性进行评定。　　图1常用微纳米台阶高度（深度）标准样板外形JJF（沪）XXXX-20XX355计量特性5.1样板的台阶高度（深度）台阶高度（深度）是通过对样板有效测量区域内不同位置的多次测量结果的平均值进行评定。　　台阶高度（深度）技术要求如表1所示