X射线能谱仪(EDAXGenesis)操作规程.docx

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1、X射线能谱仪（EDAXGenesis）操作规程开机1.检查真空、循环水状态，启动电镜设备。2.启动能谱设备。样品放置、撤出、交换1.严格按照高度规定高样品台，制样，固定。2.按交换舱上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品杆至“Lock”位，合上交换舱，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后按“Open”键打开样品舱门，推入样品台，旋转样品杆至“Unlock”位后抽出，按“Close”键。观察与测试分析1.根据样品特性与测试要求，在电镜操作面板上选择合适的加速电压与束流，按“On”键加高压。2.用滚轮将样品台定位至观察点，拧Z轴旋钮（3轴马达台）。3.选择合适的放大倍数，点击“Ali

2、gn”键，调节旋钮盘，逐步调整电子束位置、物镜光阑对中、消像散基准。4.在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模式下聚焦、消像散，在“Slow”或“Fast”扫描模式下拍照。5.选择合适的区域，在能谱分析程序EDAXGenesis中，设置电压参数，选择Collect采集谱图，按“PeakID”识别元素。按“HPD”查看拟合。按“Bkg”背底识别。按“Ｑuant”进行定性，半定量分析。按“Save”存储数据和谱图。6.通过光盘导出能谱数据。关机1.退出能谱程序，关闭能谱计算机。2.将样品台高度调回80mm。3.按“Home”键使样品台回到初始状态。4.“Home”指

3、示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。5.退出电镜程序，关闭“Display”电源。注意1.每天第一次加高压后，做一次Flashing。2.铁磁性块体及粉末样品禁止直接进行能谱测试分析，会导致仪器严重损坏。3.每半个月旋开空压机底阀放水一次。4．要检查开机时，能谱探头制冷杜瓦瓶内都要有足够液氮存留。每周需补充液氮。5．实验室温度限定在25±5℃，相对湿度小于70%。