GXWISC007A0 显影蚀刻退膜机操作指导书XX01005.doc

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1、GXWISC007A0显影蚀刻退膜机操作指导书XX01005　　赣州广兴电子电路有限公司GANZGOUGUANGXINELECTRONICCIRCUITCO.,LTD.文件名称制/修订页次版次文件编号:GX-WI-SC-007制/修订日期:xx-10-5版本:A0页码:第1页共6页显影蚀刻退膜机操作指导书修改内容签名栏日期文件份数回收时间制/修订日期共1页A0新制定xx-10-5销毁人销毁时间修改记录分发号会签单位□01总经理室受控文审核:日期:批准:日期:受控章□02管理者代表□03行政部□04财务部□05业务部□06品

2、管部□07生产部□08工程部□09采购部□10PMC部作废文件回收记录件保管记录签编制:署栏日期:赣州广兴电子电路有限公司GANZGOUGUANGXINELECTRONICCIRCUITCO.,LTD.文件名称文件编号:GX-WI-SC-007制/修订日期:xx-10-5版本:A0页码:第2页共6页显影蚀刻退膜机操作指导书1.目的使显影、蚀刻、退膜机操作细致化、明确化、规范化.2.适用范围干膜显影、蚀刻、退膜工序.3.工艺参数工序控制项目Na2C03显影液温度显影显影喷淋压力水洗压力显影点烘干温度显影速度湿膜干膜蚀刻液温度

3、蚀刻喷淋压力水洗压力蚀刻速度退膜温度水洗压力NaOH退膜速度浸泳温度水洗压力NaOH温度单位%?CKg/cm2Kg/cm2%?Ccm/mincm/min?CKg/cm2Kg/cm2cm/min?CKg/cm28-12%cm/min?CKg/cm28-12%?C控制范围0.8-1.228-321.0-2.51.0-2.5≥55+/-545+/-510-1630-3548-541-2.51.0-2.520-3035-451.0-2.510%20-3035-451.0-2.510%80-90蚀刻退膜浸泳烘干赣州广兴电子电路有限公

4、司GANZGOUGUANGXINELECTRONICCIRCUITCO.,LTD.文件名称4.工艺流程文件编号:GX-WI-SC-007制/修订日期:xx-10-5版本:A0页码:第3页共6页显影蚀刻退膜机操作指导书放板显影四级水水洗冷风水洗蚀刻检查水洗检查浸泳脱膜三级水洗出板检查热风冷风水洗5.操作流程5.1开机5.1.1先开总水阀开关，开启电源开关;5.1.2在人机界面中出现按此键进放工作画面，再启动键机器正常运转（并观察是否有些键未开，未开键显示闪动，开启键是兰色）.5.2显影液的配制（显影缸的标准体积为1600L）

5、5.2.1清洁显影槽，放水到槽液位1/2处，然后放取13kgNa2C03于胶桶内，加水完全溶解后，倒入显影缸，然后加水至标准液位;5.2.2配制好显影液后，开始加温，并开喷淋运行10分钟，待温度达到设定温度后取药水经化验员化验并做好记录，经班长或领班确认合格后方可显影；5.2.3一缸显影液的显影能力约为160m2,显影面积达到150-160m2时,必须重新奂缸.5.3显影点的测试5.3.1取4块经过贴膜未曝光的光铜板（最好500x300mm）;5.3.2按正常开机程序开机，并根据工艺要求将机速调好，然后将4块板按顺序放入机

6、中，待第4块板完全进入显影缸后，立即关闭喷淋，同时以最快的速度将板送出;5.3.3测量第4块至最后显影完全干净（指与放板垂直放向）的地方的长度，记录其数值除以缸的长度（缸的长为2米），再乘以100%即为显影点的百分数，显影点要求为≥赣州广兴电子电路有限公司GANZGOUGUANGXINELECTRONICCIRCUITCO.,LTD.文件名称文件编号:GX-WI-SC-007制/修订日期:xx-10-5版本:A0页码:第4页共6页显影蚀刻退膜机操作指导书50-60%，显影点测试频率为每天一次.6．3浸泳缸（800L）6．3

7、．1目的使抗镀线路溶解在药液中，并且使抗镀膜与铜层脱离。　　6．3．2工艺条件溶液浓度10%，浸泳温度为35-45°C;6．3．3维护及更换6．3．3．1维护每班生产前将缸内溶液表面或缸壁上、加热管上附着的杂物清理掉，生产中根据需要补加30ml消泡剂，每日由化验室分析及调整补加。　　6．3．3．2更换正常生产每5天更换一次，生产过程中用原液补加。　　6．3．4开缸方法a）首先将缸内的杂物清理干净，并用水冲洗一次（在关闭加热电源的情况下），然后将喷嘴清洗干净；b）加自来水至缸体2/3体积处；c）将80KGNaOH溶液加入膨松

8、缸内，并加水至标准液位；e)开机搅拌运行10分钟后，由化验室分析并调整药水含量达到开缸含量后，方可使用於生产。　　方可投入生产使用。　　6.4退膜（800L）6.4.1目的将板面的抗镀膜干净、彻底的退除掉，露出新鲜的Cu面以便于蚀刻。　　6.4.2工艺条件溶液浓度10%，退膜温度为35-45°C，退膜压