SnO2SbSiO2复合薄膜的制备与性能研究.pdf

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1、分类号：Q§!!：§UDC：540密级：笪五编号：Sn02：Sb／Si02复合薄膜的制备与性能研究PreparationandPropertiesofSnOz：Sb／Si02授予单位及代码：量墨堡王左堂f!Q!竖2专业名称及代码：玉也也茎(QZ监Qj2方向：玉越盘皇塑鳇挝整丝堂教师：理篮王塾援￡堰昱：时间：—三盟世壁兰盟U呈一申请学位级别：熊圭研究生：王煎长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈变的硕士学位论文，(Sn02：Sb／SiO：复合薄膜的制各与性能研宄》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。

2、除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：五塑趔兰年—i月—上￡日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研宄所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKl系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以

3、将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索．也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：三塑—≥监年—L月—』￡臼导师签名盟年—王月—正o摘要本文以TEOS、SnCl22H20和SbCl3为原料，采用溶胶，凝腔结合旋转涂膜技术在玻璃基底上制各出Si02增透膜、sn02：Sb(ATO)透明导电薄膜以及sn02：Sb／SiQ复合薄膜，利用TG-DSC、XRD、FTlR、SEM、四探针电阻仪、分光光度计、椭偏仪等技术对薄膜样品进行了表征。结果表明，所制备的Si02薄膜具有较大的孔隙率(舻27％)和较低的折射率

4、(JFl352)．在玻璃基底上镀一层Si02膜后，峰值透过率由90％提高到95％，达到了较好的增透效果，进一步提高了可见光利用率。所％Ⅱ各的SnO：：Sb薄膜具有较高的折射率(n=1．91)和良好的导电性，方块电阻最低为105D．／o，能够降低红外辐射，在玻璃上镀Sn02：Sb膜后．近红外波段透过率下降显著，由90％降到55％。优化工艺条件下制备的Sn02：Sb／Si02复合薄膜的性能优于sn02：Sb薄膜，在相同情况下sn02：sb／Si02复合薄膜对可见光的透过率大于sn02：Sb薄膜，这是因为上层sj02薄膜折射率较低，与底

5、层高折射率sn02：Sb薄膜共同构成减反射膜系，提高了膜系的可见光透过率。相比于单层sn02：Sb膜，在可见光部分增透牢大干45％．近红外波段的增透率小于10％，基本保持原有导电膜的低红外辐射特性．并提高了可见光透过率。关键词：溶胶一凝胶SiO!Sn02：Sb复合薄膜透过率l0％ThelowinfraredemissivityoforiginalconductivefilmsisbasicallykeptandthetransmittanceofvisiblelightisincreasedK日words：Sol-GelSi02S

6、nO：：SbCompositefilmTransmiHance目录摘要ABSTRACT录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯1ll引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．2Sn02透明导电薄膜简介⋯⋯⋯⋯⋯．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2．21Sn02基本结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2．2．2研宄进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯22．3导电机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯32．4光学性能及节能原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯525透明

7、导电薄膜的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．6．3增透膜简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．71．31研宄进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．71．32薄膜增透原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．8l3．3增透膜的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯84薄膜制备技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯91．41化学气相沉积(CVD)法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯91．42磁控溅射(MS)法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯104．3喷雾热解(sP)法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．10l44分子束外延(MBE)法⋯⋯⋯⋯

8、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．IO1．45脉冲激光沉积(PLD)法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．101．46溶胶礞胶(S01．Gel)法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯～IO1．5溶胶嵌胶法基本理论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯12I5J溶胶．凝胶法简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯