丝网工艺培训教材.ppt

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1、丝网工艺培训教材宋锋兵1太阳能电池工艺基本流程前清洗（制绒）扩散PECVDSiNx后清洗（刻边/去PSG）丝网印刷/烧结/测试23丝网机台(Baccini)4丝网印刷概念把带有图案的模版附着于丝网上进行印刷通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成承印物直接放在带有模版的丝网下面，浆料在刮刀的挤压下穿过丝网间的网孔只有图像部分能穿过，印刷到承印物上加入浆料刮刀施加压力朝丝网另一端移动丝网与承印物之间保持一定的间隙浆料从网孔中挤压到基片上丝网张力而产生反作用力-回弹力丝网与基片只呈移动式线接触刮板抬起，丝网脱离基片工作台返回到上

2、料位置，完成一个印刷行程丝网印刷行程56丝网印刷/烧结/测试流程WB传送1#丝网机银/铝浆背电极印刷（如Ferro3398）WB传送1#烘箱WB传送2#丝网机铝浆背电场印刷（如FerroFX53-038）WB传送2#烘箱WB传送3#丝网机银浆栅极印刷（如FerroCN33-462）WB传送电极烧结(烘干+烧结)WB传送测试分选7注意的问题：此处最多出现的问题为吸双片和造成较多碎片解决方法：调节上图中的真空吸力（a处），并适当调节（b处）的吹风力度。ba8丝网印刷台面通过括刀一次移动通过括刀来回移动印刷二次。先括刀往前移动，印刷

3、一次。电池到网板的距离(1800左右)印刷完成后电池到网板的距离印刷位置向上移动至停止位置的速度印刷时括刀的位置印刷和回墨完成后，印刷头的停止位置印刷时括刀下降的压力（100左右）括刀夹持器的水平移动能修正网板的位置印刷完成后程序延迟抬高网板和括刀的时间印刷速度（200左右）刮浆料速度其中三个参数为工艺常调节：1.sanp-off---主要控制网板台面的高度-----控制栅线的高度-----我们电池到网板的距离(1800--3300左右)2.pressure---刮刀压在网板上的压力-----控制栅线的连续，防止虚印，以及粘板

4、等-----我们控制在75-100N3.printingspeed----刮刀在网板上移动的速度----太小影响效率，太大出现虚印----我们控制在200以内109&10号相机的位置119&10号相机的作用是为准确印刷电极的位置，确保丝网在电池片上的正确位置，防止出现偏印。1.校正点位置重新调整步骤:(以AlignmentErrorCamera9报警为例,假设图像显示校正点位置偏低.)先按F5键将印刷头升高.①Baccini主菜单中Vision②51CamerasPiecesAlignment③Image④Livecam9点⑤

5、MoveCamera9Axis⑥ScreenpositionYcamera9move⑦Stepoffset(100)⑧B(-)⑨ConfirmPos.⑩ExitSave注:A.为便于观察和调整,最好将③Image界面移到屏幕左边,将⑥Move界面移到右边.B.⑦Stepoffset值和调整方向(F-/B+)根据校正点在图像中的位置确定,最终将校正点调整到图像框的中心.C.每次调整后需将数据确认(Confirm)和保存(Savedata)后,所做调整才有效.只要校正点清晰完整，位置调整好后网版一般能通过自动识别，不需要以下操作，

6、就可以进行生产了。1213此处经常放吸尘纸----便于发现漏浆；由于此处有真空吸力----会出现碎片；如不经常更换会出现较多Rs失效----建议关于多久更换可以有一个规程此处已成为失效排查首要地方！14X、Y、Thetapieceoffsets（印刷图形位置）：印刷图形相对于硅片的位置。调整相应得X轴、Y轴，以及转角的角度以适应硅片的印刷，使印刷图形符合我们印刷要求。------否则会出现印刷偏移！！在下图界面可以看到印刷的数值15刮刀的实际位置调节刮刀限位旋钮使得刮刀可以继续向下运动，或阻止它向下运动一段距离。调节刮刀限位旋

7、钮可以间接调节刮刀的印刷位置，因为在压力模式下工作。如果此旋钮接触到下面则压力会增大很多，压力感应器就会自动调节刮刀的位置。此位置不能调节太大，否则会造成报警。烘干装置16此处为较多的污染处烘干装置常存在的问题和解决方案1.由于机械手的夹片运动，会出现较多碎片-----可以在挂钩处加上泡沫或胶带，已增加其缓冲力度；2.花篮处的清洁很重要-----因为电池片正面在花篮上，又因为烘干有较多有机物常常凝结在花篮处-----造成Rs失效------按期清洁花篮；17丝网印刷各阶段硅片图形18印刷背电极后的硅片印刷背电场后的硅片印刷正电

8、极后的硅片背电极印刷和相关参数19丝网材质不锈钢目数280目丝直径46-53μm丝网厚度82-90μm膜厚15μm静态张力25N印刷速度250mm/s反料速度400mm/s丝网间距-1300μm刮板压力65-85N脱离速度35mm/s刮板高度-1200μm烘箱温区1234全程