改良西门子法制备高纯多晶硅.doc

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1、改良西门子法制备高纯多晶硅摘要：本文主要叙述了高纯多晶硅的各种制备方法，有三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法、四氯化硅氢还原法、流化床法、物理提纯法等其他制备高纯多晶硅的工艺。[1]其中重点介绍了现在普遍都使用，技术相对成熟的改良西门子法，包括改良西门子法的制备工艺、三氯氢硅的提纯与尾气处理。关键词:高纯多晶硅；良西门子法；尾气处理ThepreparationofhighpuritypolycrystallinesiliconmodifiedSiemensAbstract：Thispapermain

2、lydescribesvariouspreparationmethodsofhighpuritypolycrystallinesilicon,hydrogenreductionmethod,thesiliconcross-linkedwithhydrogensilicathermaldecompositionmethod,silicontetrachloridehydrogenreductionmethod,fluiditybedmethod,physicalpurificationmethod

3、preparationofhighpuritypolycrystallinesiliconandothercrafts.Whichfocusonwidelyusednow，thetechnologyisrelativelymatureandimprovedSiemensmethod,includingimprovedSiemensmethodofpreparation,chemicalhydrogenpurificationofsiliconandtailgastreatment.Keyword

4、s:highpuritypolycrystallinesilicon；agoodmethodofSiemens；tailgastreatment.绪论近年来，太阳能硅电池、半导体工业和电子信息产业发展迅猛，而多晶硅是这些产业的最基本和主要的功能材料，因此，多晶硅的生产受到了各国企业的重视。越来越多的人注重多晶硅的研究与生产。在此我主要介绍一下改良西门子法制备高纯多晶硅的生产过程以及尾气处理。1高纯多晶硅的生产方式1.1三氯氢硅氢还原法三氯氢硅氢还原法是德国西门子（Siemens）公司于1954年

5、发明的，又称西门子法，是广泛采用的高纯多晶硅制备技术，国际上生产高纯多晶硅的主要大公司都采用该技术，包括瓦克（Walker）、海姆洛克（Hemlock）和德山（Tokoyama）。其化学反应式为：Si+3HCl→SiHCl3+H2（1）反应除了生成中间化合物三氯氢硅外，还有附加产物，如SiCl4、SiH2Cl2和FeCl3、BCl3、PCl3等杂质，需要精馏提纯。经过粗馏和精馏两道工艺，三氯氢硅中间化合物的杂质含量可以降到10-7～10-10数量级。将置于反应室的原始高纯多晶硅细棒（直径约5mm

6、）通电加热到1100℃以上，通入中间化合物三氯氢硅和高纯氢气，发生还原反应，通过化学气相沉积，生成的新的高纯硅沉积在硅棒上，使硅棒不断长大，一直到硅棒的直径达到150~200mm，制成半导体级高纯多晶硅。其反应式为：SiHCl3+H2→Si+3HCl（2）或2（SiHCl3）→Si+2HCl+SiCl4（3）或者将高纯多晶硅粉末置于加热流化床上，通入中间化合物三氯氢硅和高纯氢气，让生成的多晶硅沉积在硅粉上，形成颗粒高纯多晶硅。1.2硅烷热分解法用硅烷作为中间化合物有特别的优点，首先是硅烷宜于提纯

7、，硅中的金属杂质在硅烷的制备过程中，不易形成挥发性的金属氢化物气体，硅烷一旦形成，其剩余的主要杂质仅仅是B和P等非金属，相对容易去除；其次是硅烷可以热分解直接生成多晶硅，不需要还原发应，而且分解温度相对较低。但是，硅烷法制备的多晶硅虽然质量好，综合生产成本却很高。制备硅烷有多种方法，一般利用硅化镁和液氨溶剂中的氯化铵在0℃以下反应，这是由日本小松电子公司（Komatsu）发明的，具体反应式是：Mg2Si+4NH4Cl→2MgCl2+4NH3+SiH4（4）另一种重要的硅烷制备技术是美国联合碳化物

8、公司（UnionCarbide）提出的，其主要反应式为：3SiCl4+Si+2H2→4SiHCl3（5）2SiHCl3→SiH2Cl2+SiCl4（6）3SiH2Cl2→SiH4+2SiHCl3（7）生成的硅烷可以利用精馏技术提纯，然后通入反应室，细小的多晶硅硅棒通电加热到850℃以上，硅烷分解，生成的多晶硅沉积在硅棒上，如美国AsiMi、SGS（现REC）公司，其化学反应为：SiH4→Si+2H2（8）同样，硅烷的最后分解也可以利用流化床技术，能够得到颗粒高纯多晶硅，如美国的MEMC公司。[2