传感器技术与应用 贾海瀛 知识储备教学课件教学课件0-2 了解传感器的分类和发展.ppt

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1、分类：（1）按照被测物理量：温度、压力、位移、转速、加速度、位置、湿度、气体浓度、流量、流速等传感器。（2）按照传感器的工作原理（3）转换能量（4）转换机理传感器的样式细长型压力传感器　位移传感器　　　温度传感器传感器的发展1．发现并利用新现象利用物理现象、化学反应、生物效应作为传感器原理，所以研究发现新现象与新效应是传感器技术发展的重要工作，是研究开发新型传感器的基础。日本夏普公司利用超导技术研制成功高温超导磁性传感器，是传感器技术的重大突破，其灵敏度高，仅次于超导量子干涉器件。传感器的发展2．利用新材料传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学进步，人们可制造出各种新

2、型传感器。例如用高分子聚合物薄膜制成温度传感器；光导纤维能制成压力、流量、温度、位移等多种传感器；用陶瓷制成压力传感器。传感器的发展3．微机械加工技术半导体技术中的加工方法有氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺，各向异性腐蚀及蒸镀，溅射薄膜等，这些都已引进到传感器制造。因而产生了各种新型传感器，如利用半导体技术制造出硅微传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，利用溅射薄膜工艺制压力传感器等。传感器的发展4.集成传感器集成传感器的优势是传统传感器无法达到的，它不仅仅是一个简单的传感器，其将辅助电路中的元件与传感元件同时集成在一块芯片上，使之具有校准、补偿、自诊断和

3、网络通信的功能，它可降低成本、增加产量，美国LUCAS、NOVASENSOR公司开发的这种血压传感器，每星期能生产1万只。传感器的发展5.智能化传感器智能化传感器是一种带微处理器的传感器，是微型计算机和传感器相结合的成果，它兼有检测、判断和信息处理功能，与传统传感器相比有很多特点。美国HONYWELL公司ST-3000型智能传感器，芯片尺寸才有3×4×2mm3，采用半导体工艺，在同一芯片上制成CPU、EPROM、静压、压差、温度等三种敏感元件，把传感器、信号调节电路、单片机集成在一芯片上形成超大规模集成化的高级智能传感器。