钛膜表格面阳极氧化层制备及表格征.pdf

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1、!第"#卷!!第$期!!%&&’年%月!!!!!!!!!!!!!!!!表面技术!!!()*+"#!,)+$!-./+%&&’!!!!!!!!!!!!!!!012-3456547,898:;###!"钛膜表面阳极氧化层制备及表征刘文科，曹小华，彭述明，龙兴贵，杨本福，罗顺忠，王维笃（中国工程物理研究院，四川绵阳!"#$%%）&&［摘&要］&为了研究钛膜表面阳极氧化层对吸附和解吸氢同位素特性的影响，需制备和表征钛膜表面阳极氧化层。设计了钛膜表面阳极氧化装置，确定了制备厚度不同的氧化层的阳极氧化工艺参数，其工艺

2、简单、易操作；并对阳极氧化层进行了’()深度剖析和*+)化合价分析。其结果如下：在确定的工艺参数下，设计加工的阳极氧化装置能够制备出表面呈彩色的阳极氧化层，而且表面平整、光滑、均匀，与基体金属结合牢固；采用’()深度剖析确定了阳极氧化层的厚度，而且在其它条件相同时，获得阳极氧化层的厚度随着电压、,")-.浓度和时间的增加而明显变厚的规律；采用*+)研究了阳极氧化层钛的主要价态为/.、/0和/"价，氧化层主要组成为12-"、12"-0和12-。［关键词］&钛膜；阳极氧化；制备；表征［中图分类号］13#4.5

3、.6#&&&［文献标识码］’&&&［文章编号］#%%#70!!%（"%%4）%#7%%6#7%6<=.>?=?@A)B)C3B)DAE8FAD.9?G.=)B@H.0I=C?E.)C6A@?BAIJ-A*J?BDA@K0I=C?E.<=)>.=@G!"#$%&’(%，)*+,-./’01.，2345601’7-&8，!+45,-&8’81-，9*45:%&’;1，!#+601&’<0/&8，$*45$%-’=1（89:;2;<;=>?@

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