Si基ZnO薄膜制备技术研究.pdf

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1、分类号：jH望LUDC：密级编号-亘垒卫王翻Si基ZnO薄膜制备技术研究TECHNOLOGICALSTUDYOFZn0THINFILMSGROWN0NSiSUBSTI己ATE学位授予单位搜代码：量壹型王盔芏f!Q!堑!学科专业名称搜代码：世盟王生皇固佳盟王堂fQ8螋盟2研究方向：血王疆盟皇M曼M5搜查申请学位级别：题±指导教帅：王盈副麴援研究_：￡：墼．睦查论文起止时间；笪业』l二生盟』卫长春理工大学硕士学位论文原刨性声踢本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《si基ZnO薄膜制各技术研究》是本人在指

2、导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：!!§!丛盔尘坠年王月且同长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或

3、机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编八有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描肄复制手段保存和汇编学位论文。导师签名：兰麴2三生年—L月—盟R摘要ZnO薄膜作为一种新型宽带隙半导体材料，有其广泛应用。本文首先从理论上探讨了ZnO薄膜在微光器件中光电阴极上的潜在应用。并通过对少数载流子扩散方程的求解推导了ZnO光电阴极的量子效率。为了将7m0光电阴极实用化，采用磁控溅射方法在si衬底上制备了ZnO薄膜，深入研究了si基Zn0

4、薄膜的结构和光学等特性。为了提高si基ZnO薄膜的质量，我们研究了引入A1203缓冲层，深入研究了不同厚度A12仉缓冲层对ZnO薄膜结构和光学特性的影响，并给出了其规律。我们还探索性的开展了引入Ga203缓冲层技术，发现通过引入A1203缓冲层和G8203缓冲层后，si基ZnO薄膜的性质有了一定程度的提高，从而为制备si基ZnO光电阴极和其它si基ZnO光电子器件提供理论和技术支持。关键宇：ZnO薄膜光电阴极缓冲层ABSTRACTAsanclvtypeofwidebandgapsemiconduct

5、ormaterialjZnOthinfilmiswidelyused．Inthispapeafirstly,thefeasibilityofZnOthinfilmtobeusedasthepholoc“hodeinlow·lightopticaldeviceswasstudiedfromtheoreticalanalysisandthequantumefficiencyoftheZnOphotocathodewasdeducedthebysolvingtheminorcarrierdiffusion

6、equationInordertofurtherappliedtheZnOphotocathodeZnOthinfilmwasgrownonSisubstratebymagnetronsputteringmethodandthestructureandopticalpropertiesofZnOthinfilmonSisubstratewasinvestigated．InordertoimprovethequalityofZnOthinmm，A1203bufferlayerwasintroduced

7、andtheinfluenceofthethicknessA1203bufferlayeronthestructuralandopticalpropertiesofZnOthinfilmwerestudiedFurthermore，Ga203thinfilmwastdedtointroduceasthebufferlayenItasfoundthatbyintroduceAIz03andGa20sbufferlayers，thequalityofZnOthinfilmsgrownonSisubstr

8、atewengreatlyimproved．TheseachievementswillbehelpfulformanufactureSi·basedZnOphotocathodeandotherSi—basedZnOoptoelectronicdevicesfromtheoryandtechnologyKeywords：ZnOthinfilmphotocathodebufferlayer目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ABSTRACT⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．