原电池法制备硅纳米线的研究.pdf

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1、Athesis(dissertation)submittedtoZhengzhouUniversityforthedegreeofMasterStudyonPreparationofSiliconNanowireinOriginalBatteryMethodByzhidongHuSupervisor：Prof．ChangqingLiMicroelectronicsandSolidElectronicsInformationEngineeringSchoolApril2012；j_■■■—■静：jlj嚣{，蕾§l，原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人

2、在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。学位论文作者：别．t岩、、-日期：ⅣJ上年f月39日学位论文使用授权声明本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品，只是产权归属郑州大学。根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部门或机构送交的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅：本人授权郑州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或者

3、其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时，第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。学位论文作者：二{．三东日期：知，1年s月摘要硅纳米线是目前一种比较新型的一维半导体纳米材料，由于其自身的电、光学等特性引起了科学界众多研究者的广泛关注。电镜、拉曼光谱、能量色散X射线分析(EDS)等方法都是有效地表征硅纳米线的手段。近年来硅纳米线在合成其他纳米材料的模板方面及高性能场效应晶体管、场发射显示器等许多纳米器件的应用方面的研究已经取得了显著成果，使得硅纳米线可能成为纳米电子学领域的一种

4、非常有潜力的材料。本文采用的是原电池两步法制备硅纳米线，这是一种在前人的基础上采用的较新的方法。与其他方法相比，原电池两步法不需要外接电源，操作简单，对环境要求不高，并且成本较低，刻蚀速度快，附着较容易。本文研究了两步法制得的样品的形貌结构，对它的光致发光现象进行了分析。并且文中还尝试采用铂硅原电池法、镍硅原电池法和光照法制备硅纳米线，与两步法制成的样品进行简单的比较。并且对不同浓度刻蚀液做出的样品形态作了简单观察，分析了这些因素对实验的影响。如果刻蚀的时间足够长，硅基会被穿透，并且最终被完全溶解。将制得的样品振荡碎，结果发现两步法制备的硅纳米线还具有一定的韧

5、性，部分硅纳米线出现弯曲而没有折断。目前，在实验室里，硅纳米线的工艺掺杂和纳米器件方面的研究已经取得了一定的成果，但关于硅纳米线的一些特性及研究者们发现的现象还有待一步去研究和证实。本文在用原电池两步法制备硅纳米线的过程中，Ag对于实验和硅纳米线的PL特性的影响，以及两步法制得的硅纳米线的光吸收率等问题都有待进一步研究。关键词：原电池硅纳米线PL特性IlAbstraffAbstractSiliconnanowiresisanewtypeofone-dimensionalsemiconductornano．materialinrecently．Thescient

6、ificcommunityofElectron-microscopy,Raman．spectroscopy,energydispersiveX-rayanalysis(EDS)andothermethodsareeffectivemeansofcharacterizationofsiliconnanowires．Intheapplicationresearchofothernanometermaterialstemplate，high—performancefield-effecttransistors，fieldemissiondisplayandmanyo

7、therdeviceshasmaderemarkableresults，andasaresultthesiliconnanowiresmaybecomeaverypotentialmaterialofnano．electronicsfield．Thisarticleappliesatwo-stepsystemofprimarybatteriestomanufacturethesiliconnanowireswhichiSanewmethodthatbasedonapredecessor’Smethods．Thecharactersofthismethodare

8、thepreparationmetho