基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法.pdf

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4、年限的增长，数控加I叫，心的精度将不可避免地m脱水l浏程度的下降数牲机床的加I。精度由wn‘J『：仆之问的相对佗摊决定．接影响Ⅲ隶很多．而机床的曲态珙粒屉噩；哺肌

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6、特度．冉利j材数控饥眯的uI缩群、智能性对fJ【眯lM正进什补“；从

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13、二光束．一束光柬从附加在线性l二涉髓I．的眨驸镜反射I口激光*、而"一求光寐砭经由另一个线性反射镜反射叫激光★这2求厦甜光线杠f。涉镜山i[=合山激光头山幢渡器监控遮2求把束的干涉情况。。。。2机床线性轴的误差算法捌家标准㈦⋯1742l2—2000规往】，越过删捕机眯nq单蚀轴线束硷翰和rr定数{孛机床的定位犄幢和苇塑芷位枯度的汀法上要指切：乜j舌轴线的定f^精度』轴线的舌复，t位精度R轴线的反向置仉口，甲均化置偏差Mjf巾．“重复定位精度月和反向嚣f

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16、台雉噬．靖复位臀的不艇确会导数T州的h三·j雌差州重复定位精度“的岛低在张大拌度I二取决于滚球牲杠舯螺距累机误差和位拦榆删系统

17、1勺误差