CDA系统及制程真空系统简介.ppt

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1、壓縮乾燥空氣及製程真空系統廠務四處空調課~第一單元~壓縮乾燥空氣系統壓縮乾燥空氣系統系統目的提供低含水量之壓縮潔淨空氣需求設備離心式空氣壓縮機(螺旋式空氣壓縮機)吸附式乾燥機(冷凍式乾燥機)微粒子過濾器品質要求(各廠需求略有不同)系統末端壓力高於7.0kg/cm2空氣露點溫度低於-70℃(水份含量低於0.12ppm)微粒數少於10顆/ft3壓縮乾燥空氣系統壓力單位inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大氣壓力1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,3

2、25Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力錶壓力+大氣壓力壓力換算1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi壓縮乾燥空氣系統風量單位CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)單位換算1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH=(3.28ft)3/min=35.3CFM特定風量條件StandardCondition(SCMM)：1atm、20℃、65%R.HNormalCondition(NCMM)：1atm、0℃、0%R.H壓縮乾燥空氣系統Standard&Normal風量轉換理想氣體定律(P1*V1)/T1=(P

3、2*V2)/T2P：絕對壓力T：絕對溫度Standard&Normal風量轉換範例100SCMM=NCMM理想氣體定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273)=(1.033kg/cm2*NCMM)/(0℃+273)Ans：93.17NCMMQ(Standard)>Q(Normal)壓縮乾燥空氣系統壓縮乾燥空氣處理流程壓縮乾燥空氣系統離心式空氣壓縮機壓縮乾燥空氣系統離心式空氣壓縮機冷凝水橈性接頭油過滤器油温控制阀油冷却器主油泵油加热器油箱旁通阀过滤網油空氣水後冷却器中間冷卻器中間冷卻器辅油泵進口空氣过滤器和消音器進口調節導葉止回阀排油氣風扇及過滤器壓縮乾燥空氣系

4、統IGV&BOV壓縮乾燥空氣系統乾燥機元件介紹壓縮乾燥空氣系統乾燥機元件介紹~氣動控制閥件壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力錶(機械式)入口壓力出口壓力A桶槽壓力B桶槽壓力冷卻壓力A桶槽溫度B桶槽溫度排氣出口溫度壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力錶(機械式)InletPressureLeftChamberPressureA桶槽B桶槽OutletPressurePurgeRightChamberPressureMoistureIndicator1.藍色正常2.粉紅含水壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力錶(機械式)B桶槽冷卻壓力壓縮乾燥空氣系統乾燥機溫度/壓力控制開關(電子式)加熱溫度控制開關(維持

5、200℃)加熱器溫度保護開關(370℃)B桶槽高溫切換保護開關(50℃)A桶槽高溫切換保護開關(50℃)空氣出口溫度監視點A桶槽建壓壓力開關(45psi)B桶槽建壓壓力開關(45psi)加熱結束溫度控制開關(80℃)壓縮乾燥空氣系統CycleTime(22hr)單一桶槽依續完成吸附與再生過程之總時間吸附過程(11hr)乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序再生過程(11hr)洩壓程序(8min)：洩除欲再生桶槽保有之壓力加熱程序(240minmax)：加溫移除乾燥粒子所含水份冷卻程序(410minmax)：冷卻乾燥粒以恢復吸附能力建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽之壓力壓縮乾燥空氣

6、系統工作流程~吸附過程入口閥(桶槽切換時作動)A桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)吸附桶槽待機桶槽建壓閥(OFF)桶槽切換依據1.偵濕器作動(7.5~13kHz)2.時間控制(11hr)B桶槽高溫切換保護開關(50℃)A桶槽高溫切換保護開關(50℃)壓縮乾燥空氣系統再生過程~洩壓程序(8min)入口閥A桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(ON)B桶洩壓閥(OFF)洩壓桶槽吸附桶槽建壓閥(OFF)壓縮乾燥空氣系統再生過程~加熱程序(240minmax)入口閥A桶排氣閥(ON)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)加熱

7、桶槽吸附桶槽建壓閥(OFF)加熱溫度控制開關(維持200℃)加熱器溫度保護開關(370℃)加熱結束溫度控制開關(80℃)1.鼓風機啟動2.加熱器啟動壓縮乾燥空氣系統再生過程~冷卻程序(410minmax)入口閥A桶排氣閥(ON)B桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥(OFF)冷卻桶槽吸附桶槽建壓閥(ON)35℃壓縮乾燥空氣系統再生過程~建壓程序(15min)入口閥A桶排氣閥(OFF)B